Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 生成超材料的方法及由此生成的超材料 | |
| 其他题名 | 生成超材料的方法及由此生成的超材料 |
| 熊启华; 徐新龙; 张俊 | |
| 2017-03-22 | |
| 专利权人 | 南洋理工大学 |
| 公开日期 | 2017-03-22 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 授权发明 |
| 摘要 | 提供了一种生成在可见光‑红外范围内可操作的超材料的方法。所述方法包括a)将导电材料层沉积在基板上；b)在所述导电材料层上形成电子束光刻胶层；c)使用电子束光刻将所述电子束光刻胶层图案化以形成有图案的基板；d)将贵金属层沉积在所述有图案的基板上；和e)除去所述光刻胶。提供了一种在所述可见光‑红外范围内可操作的超材料，所述超材料在基板上包含具有约20nm至约40nm的最小线宽的裂环谐振器。还提供了一种用于化学或生物传感的透明光子器件或传感器，所述透明光子器件或传感器包含所述超材料。 |
| 其他摘要 | 提供了一种生成在可见光‑红外范围内可操作的超材料的方法。所述方法包括a)将导电材料层沉积在基板上；b)在所述导电材料层上形成电子束光刻胶层；c)使用电子束光刻将所述电子束光刻胶层图案化以形成有图案的基板；d)将贵金属层沉积在所述有图案的基板上；和e)除去所述光刻胶。提供了一种在所述可见光‑红外范围内可操作的超材料，所述超材料在基板上包含具有约20nm至约40nm的最小线宽的裂环谐振器。还提供了一种用于化学或生物传感的透明光子器件或传感器，所述透明光子器件或传感器包含所述超材料。 |
| 申请日期 | 2012-06-06 |
| 专利号 | CN103649718B |
| 专利状态 | 授权 |
| 申请号 | CN201280028198.3 |
| 公开（公告）号 | CN103649718B |
| IPC 分类号 | G01N21/00 | G01J3/44 | G02F1/00 | H01S5/10 |
| 专利代理人 | 康泉 | 王珍仙 |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49216 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 南洋理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊启华,徐新龙,张俊. 生成超材料的方法及由此生成的超材料. CN103649718B[P]. 2017-03-22. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN103649718B.PDF（3772KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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