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第13族氮化物晶体、所述晶体衬底及所述晶体制备方法
其他题名第13族氮化物晶体、所述晶体衬底及所述晶体制备方法
林昌弘; 佐藤隆; 木村千春; 三好直哉; 村上明繁; 三宅信辅; 和田纯一; 皿山正二
2016-09-21
专利权人株式会社理光
公开日期2016-09-21
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明涉及一种具有六方晶体结构的第13族氮化物晶体,其包含至少一个氮原子和至少一个从B、Al、Ga、In和Tl组成的组中选择的金属原子。平行于c‑轴的横截面中底面位错的位错密度为104cm‑2或更大。
其他摘要本发明涉及一种具有六方晶体结构的第13族氮化物晶体,其包含至少一个氮原子和至少一个从B、Al、Ga、In和Tl组成的组中选择的金属原子。平行于c‑轴的横截面中底面位错的位错密度为104cm‑2或更大。
申请日期2013-09-13
专利号CN103668460B
专利状态授权
申请号CN201310631284.X
公开(公告)号CN103668460B
IPC 分类号C30B29/38 | C30B29/40 | C30B25/02 | H01L33/00 | H01S5/323
专利代理人张祥
代理机构北京市柳沈律师事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48300
专题半导体激光器专利数据库
作者单位株式会社理光
推荐引用方式
GB/T 7714
林昌弘,佐藤隆,木村千春,等. 第13族氮化物晶体、所述晶体衬底及所述晶体制备方法. CN103668460B[P]. 2016-09-21.
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文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
CN103668460B.PDF(2368KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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