Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
氮化镓基化合物半导体器件 | |
其他题名 | 氮化镓基化合物半导体器件 |
李成男; 白好善; 孙重坤; 司空坦 | |
2009-09-09 | |
专利权人 | 三星电子株式会社 |
公开日期 | 2009-09-09 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 授权发明 |
摘要 | 提供了一种氮化镓(GaN)基化合物半导体器件,该器件具有改进在衬底上生长的薄膜的表面特性的结构。该GaN基化合物半导体器件包括:AlxInyGa1-x-yN衬底(0≤x≤1,0≤y≤1,且0≤x+y≤1),衬底表面相对于(0001)平面朝预定方向倾斜大于0°且小于1°的偏角;以及生长在该衬底上的GaN基化合物半导体层。 |
其他摘要 | 提供了一种氮化镓(GaN)基化合物半导体器件,该器件具有改进在衬底上生长的薄膜的表面特性的结构。该GaN基化合物半导体器件包括:AlxInyGa1-x-yN衬底(0≤x≤1,0≤y≤1,且0≤x+y≤1),衬底表面相对于(0001)平面朝预定方向倾斜大于0°且小于1°的偏角;以及生长在该衬底上的GaN基化合物半导体层。 |
申请日期 | 2005-11-14 |
专利号 | CN100539212C |
专利状态 | 失效 |
申请号 | CN200510124621 |
公开(公告)号 | CN100539212C |
IPC 分类号 | H01L33/00 | H01L31/00 | H01S5/00 | H01L33/06 | H01L33/16 | H01L33/32 |
专利代理人 | 陶凤波 | 侯宇 |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48227 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 三星电子株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李成男,白好善,孙重坤,等. 氮化镓基化合物半导体器件. CN100539212C[P]. 2009-09-09. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN100539212C.PDF(400KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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