Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
一种Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体P型欧姆电极 | |
其他题名 | 一种Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体P型欧姆电极 |
王国栋; 曹均凯; 谢春梅 | |
2006-12-13 | |
专利权人 | 深圳飞通光电子技术有限公司 |
公开日期 | 2006-12-13 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 实用新型 |
摘要 | 本实用新型提供一种III-V族化合物半导体P型欧姆电极,其特征在于,自半导体衬底(1)依次向上包括:第一层半导体表面锌合金层(6);第二层锌膜(4);第三层金膜(5);第四层铬膜(7);第五层金膜(8)。由于位于半导体衬底表面设有金属Zn的重掺杂层锌合金层(6),这样既可以提高金属电极的可靠性,又可减小欧姆电阻,从而能有效地降低芯片的正向压降。在制作时,工艺简单,成本低。 |
其他摘要 | 本实用新型提供一种III-V族化合物半导体P型欧姆电极,其特征在于,自半导体衬底(1)依次向上包括:第一层半导体表面锌合金层(6);第二层锌膜(4);第三层金膜(5);第四层铬膜(7);第五层金膜(8)。由于位于半导体衬底表面设有金属Zn的重掺杂层锌合金层(6),这样既可以提高金属电极的可靠性,又可减小欧姆电阻,从而能有效地降低芯片的正向压降。在制作时,工艺简单,成本低。 |
申请日期 | 2005-10-15 |
专利号 | CN2847534Y |
专利状态 | 失效 |
申请号 | CN200520065938.8 |
公开(公告)号 | CN2847534Y |
IPC 分类号 | H01L31/0224 | H01L33/00 | H01L29/45 | H01S5/00 | H01L33/36 |
专利代理人 | - |
代理机构 | - |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48099 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 深圳飞通光电子技术有限公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王国栋,曹均凯,谢春梅. 一种Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体P型欧姆电极. CN2847534Y[P]. 2006-12-13. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN2847534Y.PDF(229KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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