低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构

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	低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构
其他题名	低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构
	李惠; 贾晓卫; 夏丰金; 郭广海
	2017-12-12
专利权人	青岛科技大学
公开日期	2017-12-12
授权国家	中国
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型公开了一种低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构，由下至上依次包括GaAs基衬底、下N型布拉格反射镜、有源区、上P型布拉格反射镜、低电阻GaAs基隧道结、氧化限制层和上N型布拉格反射镜。本实用新型采用了将低电阻GaAs基隧道结和氧化限制层相结合的小尺寸圆形台面的顶发射共面电极结构，选用BCB填充，降低器件的寄生，提高器件的调制带宽，降低器件的动态调制能耗；该结构采用不同尺寸的双台面结构提高器件热耗散能力，不需要额外的热沉和散热片，还能够实现器件的直接高速共面探针测试，且可以避免底发射的减薄倒置，降低加工难度。
其他摘要	本实用新型公开了一种低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构，由下至上依次包括GaAs基衬底、下N型布拉格反射镜、有源区、上P型布拉格反射镜、低电阻GaAs基隧道结、氧化限制层和上N型布拉格反射镜。本实用新型采用了将低电阻GaAs基隧道结和氧化限制层相结合的小尺寸圆形台面的顶发射共面电极结构，选用BCB填充，降低器件的寄生，提高器件的调制带宽，降低器件的动态调制能耗；该结构采用不同尺寸的双台面结构提高器件热耗散能力，不需要额外的热沉和散热片，还能够实现器件的直接高速共面探针测试，且可以避免底发射的减薄倒置，降低加工难度。
申请日期	2017-06-08
专利号	CN206742656U
专利状态	失效
申请号	CN201720658850.X
公开（公告）号	CN206742656U
IPC 分类号	H01S5/183
专利代理人	刘艳青
代理机构	青岛海昊知识产权事务所有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48038
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	青岛科技大学
推荐引用方式 GB/T 7714	李惠,贾晓卫,夏丰金,等. 低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构. CN206742656U[P]. 2017-12-12.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN206742656U.PDF（84KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文