Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法 | |
| 其他题名 | 一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法 |
| 陈林森 | |
| 2010-06-02 | |
| 专利权人 | 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 |
| 公开日期 | 2010-06-02 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 授权发明 |
| 摘要 | 本发明公开了一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法，其特征在于：将紫外激光束经扩束、准直照在数字微反射镜上，根据待制作的导光网点形状控制数字微反射镜，出射光通过含有4F光路的投影光学系统在紫外光刻胶干板表面刻蚀导光网点；依次改变出射光与光刻胶干板的相对位置，完成各个所需导光网点的刻蚀；刻蚀后的光刻胶干板经表面金属化处理后，再进行电铸，获得所需的光导薄膜模仁。本发明通过数字微反射镜输入导光网点形状，直接采用紫外激光在光刻胶干板上刻蚀导光网点，可快速进行网点设计评价和提供样品，提高模仁的制造品质，同时，该发明有利于制造大尺寸的光导板。 |
| 其他摘要 | 本发明公开了一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法，其特征在于：将紫外激光束经扩束、准直照在数字微反射镜上，根据待制作的导光网点形状控制数字微反射镜，出射光通过含有4F光路的投影光学系统在紫外光刻胶干板表面刻蚀导光网点；依次改变出射光与光刻胶干板的相对位置，完成各个所需导光网点的刻蚀；刻蚀后的光刻胶干板经表面金属化处理后，再进行电铸，获得所需的光导薄膜模仁。本发明通过数字微反射镜输入导光网点形状，直接采用紫外激光在光刻胶干板上刻蚀导光网点，可快速进行网点设计评价和提供样品，提高模仁的制造品质，同时，该发明有利于制造大尺寸的光导板。 |
| 申请日期 | 2008-01-17 |
| 专利号 | CN101216663B |
| 专利状态 | 授权 |
| 申请号 | CN200810019237.9 |
| 公开（公告）号 | CN101216663B |
| IPC 分类号 | H01S5/00 | G02B6/00 | G03F7/00 | G03F5/02 |
| 专利代理人 | 陶海锋 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/47904 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈林森. 一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法. CN101216663B[P]. 2010-06-02. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN101216663B.PDF（496KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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