Method of making a nonplanar buried-heterostructure distributed-feedback laser

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	Method of making a nonplanar buried-heterostructure distributed-feedback laser
其他题名	Method of making a nonplanar buried-heterostructure distributed-feedback laser
	DOLAN, GERALD J.; LOGAN, RALPH A.; TEMKIN, HENRYK; WILT, DANIEL P.
	1987-10-27
专利权人	BELL TELEPHONE LABORATORIES, INCORPORATED
公开日期	1987-10-27
授权国家	美国
专利类型	授权发明
摘要	A buried-heterostructure distributed feedback laser is described, including a grating structure at a surface of a nonplanar cladding layer. The grating structure can be made by transfer of a pattern by ion milling, the pattern being defined in an ion-beam resist layer, e.g., by direct-writing electron-beam exposure. Low-threshold, high-power lasers are obtained with a commercially favorable yield.
其他摘要	描述了掩埋异质结构分布式反馈激光器，包括在非平面包覆层的表面处的光栅结构。可以通过离子铣削转移图案来制造光栅结构，该图案在离子束抗蚀剂层中限定，例如通过直接写入电子束曝光。获得具有商业上有利的产率的低阈值，高功率激光器。
申请日期	1986-10-29
专利号	US4701995
专利状态	失效
申请号	US06/924518
公开（公告）号	US4701995
IPC 分类号	H01S5/00 \| H01S5/12 \| H01S5/227 \| H01L21/302 \| H01L21/3065 \| H01L21/66 \| H01L21/208 \| H01L21/36 \| H01S3/19
专利代理人	-
代理机构	BUSINGER, PETER A.
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/47344
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	BELL TELEPHONE LABORATORIES, INCORPORATED
推荐引用方式 GB/T 7714	DOLAN, GERALD J.,LOGAN, RALPH A.,TEMKIN, HENRYK,et al. Method of making a nonplanar buried-heterostructure distributed-feedback laser. US4701995[P]. 1987-10-27.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
US4701995.PDF（500KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文