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半導體光學裝置
其他题名半導體光學裝置
羽田英樹; 境野剛; 久義浩
2004-10-11
专利权人三菱電機股份有限公司
公开日期2004-10-11
授权国家中国台湾
专利类型授权发明
摘要[課題] 製造、實裝工程中,提供一半導體光學裝置,具有防止導波路區域損傷的構造。[解決手段] 隆起導波型的半導體光學裝置包括一組臺面溝(mesa trench)間的導波路區域、臺面溝的外部的第1安裝區域及第2安裝區域、設置於第1安裝區域的第1間隔物層及設置於第2安裝區域的第2間隔物層、與導波路區域的上部遮蓋層電氣連接並從導波路區域的上部延伸至第1安裝區域的上部之第1金屬層、以及設置於第2安裝區域上部的之第2金屬層;半導體基板的底面到第1安裝區域的第1金屬層上端之高度及半導體基板的底面到第2安裝區域的第2金屬層上端之高度都高於半導體基板的底面到導波路區域的第1金屬層的上端的高度。
其他摘要[課題] 製造、實裝工程中,提供一半導體光學裝置,具有防止導波路區域損傷的構造。[解決手段] 隆起導波型的半導體光學裝置包括一組臺面溝(mesa trench)間的導波路區域、臺面溝的外部的第1安裝區域及第2安裝區域、設置於第1安裝區域的第1間隔物層及設置於第2安裝區域的第2間隔物層、與導波路區域的上部遮蓋層電氣連接並從導波路區域的上部延伸至第1安裝區域的上部之第1金屬層、以及設置於第2安裝區域上部的之第2金屬層;半導體基板的底面到第1安裝區域的第1金屬層上端之高度及半導體基板的底面到第2安裝區域的第2金屬層上端之高度都高於半導體基板的底面到導波路區域的第1金屬層的上端的高度。
主权项-
申请日期2003-04-25
专利号TWI222252B
专利状态授权
申请号TW092109672
公开(公告)号TWI222252B
IPC 分类号H01S5/00 | H01S5/042 | H01S5/062 | H01S5/227
专利代理人洪澄文
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/46086
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三菱電機股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
羽田英樹,境野剛,久義浩. 半導體光學裝置. TWI222252B[P]. 2004-10-11.
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