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レーザ照明装置、照明方法、半導体素子の製造方法、投写型表示装置、ならびに投写型表示装置を用いた画像表示方法
其他题名レーザ照明装置、照明方法、半導体素子の製造方法、投写型表示装置、ならびに投写型表示装置を用いた画像表示方法
遠藤 貴雄; 山本 修平; 平野 嘉仁; 玉川 恭久
2012-03-16
专利权人三菱電機株式会社
公开日期2012-06-06
授权国家日本
专利类型授权发明
摘要高輝度で一様な照明光束の光強度分布を提供するレーザ照明装置を得る。半導体レーザ1と平板状に形成され導波路構造を有するレーザ媒質5及び非線形材料7を同平面上に配置し、レーザ媒質5の導波路モードで連続発振する複数の光源ユニット8と、当該複数の光源ユニット8からのレーザ発振光をカップリングする第一の光学系12とを有する複数の光源モジュール20と、第一の光ファイバー13及び第二の光ファイバーアレイ14を介して伝搬してきた複数の光源モジュール20からのレーザ光をカップリングする第二の光学系15と、第二の光学系15からのレーザ光を均一化されたレーザ光に変換する均一化要素16と、均一化要素16を介して均一化されたレーザ光を被照面18である基板19に所定の倍率で投写させて照明光束11とする第三の光学系17とを備える。
其他摘要获得用于提供高强度和均匀照明光通量的光强度分布的激光照明装置。该装置包括多个光源模块(20),每个光源模块包括:多个光源单元(8),每个光源单元(8)中的每一个都具有半导体激光器(1)和激光介质(5)和非线性材料(7)平面状的波导结构布置在同一平面上,用于在激光介质(5)的波导模式中进行连续振荡。以及用于耦合来自所述多个光源单元(8)的激光振荡光束的第一光学系统(12)。该装置还包括:第二光学系统(15),用于将从多个光源模块(20)传播的激光束通过第一光纤(13)和第二光纤阵列(14)耦合;用于将来自第二光学系统(15)的激光束转换成均匀的激光束的均匀化元件(16);以及第三光学系统(17),用于将以通过所述均匀化元件(16)获得的均匀的激光束以预定的倍率投射到作为被照射面(18)的基板(19),以产生照明光通量(11)。
主权项-
申请日期2010-04-23
专利号JP4948650B2
专利状态授权
申请号JP2010528078
公开(公告)号JP4948650B2
IPC 分类号H01S5/00 | H01L21/268 | H01L21/20 | G03B21/00
专利代理人曾我 道治 | 鈴木 憲七 | 梶並 順 | 大宅 一宏 | 上田 俊一 | 吉田 潤一郎 | 飯野 智史
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/45726
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三菱電機株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
遠藤 貴雄,山本 修平,平野 嘉仁,等. レーザ照明装置、照明方法、半導体素子の製造方法、投写型表示装置、ならびに投写型表示装置を用いた画像表示方法. JP4948650B2[P]. 2012-03-16.
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