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Liquid phase epitaxial growth towards the top of alxga11xas base
其他题名Liquid phase epitaxial growth towards the top of alxga11xas base
HORIKOSHI YOSHIHARU; FURUKAWA YOSHITAKA
专利权人NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE
公开日期1976-10-07
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要PURPOSE:Liquid phase epitaxial growth conducted in an atmosphere containing halogen compounds to promote growth of ALyCa1-yAs(or GaAs) on an ALxGa1xAs base without meltback process.
其他摘要目的:在含有卤素化合物的气氛中进行液相外延生长,以促进ALxGa1xAs(或GaAs)在ALxGa1xAs基底上的生长,而无需回熔工艺。
申请日期1975-04-01
专利号JP1976114067A
专利状态失效
申请号JP1975039394
公开(公告)号JP1976114067A
IPC 分类号C30B19/00 | C30B29/40 | H01L21/208 | H01L33/14 | H01L33/30 | H01S5/00 | B01J17/24
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43630
专题半导体激光器专利数据库
作者单位NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE
推荐引用方式
GB/T 7714
HORIKOSHI YOSHIHARU,FURUKAWA YOSHITAKA. Liquid phase epitaxial growth towards the top of alxga11xas base. JP1976114067A.
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