Vertical cavity surface emitting laser and sensor

OPT OpenIR > 半导体激光器专利数据库

	Vertical cavity surface emitting laser and sensor
其他题名	Vertical cavity surface emitting laser and sensor
	SHIEH, CHAN-LONG; ACKLEY, DONALD E.
	1994-07-19
专利权人	SEIKO EPSON CORPORATION
公开日期	1994-07-19
授权国家	美国
专利类型	授权发明
摘要	A vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) having sensing capabilities is fabricated by forming a layer having the capability to change the threshold current of the VCSEL. This can be accomplished by forming a deformable membrane or a cantilevered beam on the VCSEL. The deformation of movement of the beam causes a change in the threshold current of the VCSEL, so that it can go from lasing to nonlasing or vice versa. In addition, a layer which changes reflectivity in the presence of a particular chemical can also be formed on the VCSEL to produce the same result.
其他摘要	通过形成具有改变VCSEL的阈值电流的能力的层来制造具有感测能力的垂直腔表面发射激光器（VCSEL）。这可以通过在VCSEL上形成可变形膜或悬臂梁来实现。光束移动的变形引起VCSEL的阈值电流的变化，使得它可以从激光变为非激光，反之亦然。另外，还可以在VCSEL上形成在特定化学品存在下改变反射率的层，以产生相同的结果。
授权日期	1994-07-19
申请日期	1992-08-26
专利号	US5331658
专利状态	失效
申请号	US07/935307
公开（公告）号	US5331658
IPC 分类号	G01D5/26 \| H01S5/06 \| H01S5/00 \| H01S5/183 \| H01S5/026 \| H01S5/028 \| H01S3/19
专利代理人	-
代理机构	JACKSON, MIRIAM
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42612
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	SEIKO EPSON CORPORATION
推荐引用方式 GB/T 7714	SHIEH, CHAN-LONG,ACKLEY, DONALD E.. Vertical cavity surface emitting laser and sensor. US5331658[P]. 1994-07-19.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
US5331658.PDF（173KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文