一种基于PSD原理的二维测力主轴夹具

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	一种基于PSD原理的二维测力主轴夹具
其他题名	一种基于PSD原理的二维测力主轴夹具
	丁飞; 苏星; 王波; 张鹏; 李国
	2017-03-22
专利权人	哈尔滨工业大学
公开日期	2017-03-22
授权国家	中国
专利类型	授权发明
摘要	一种基于PSD原理的二维测力主轴夹具，它属于精密测量的技术领域。它的挠性主轴座由上侧固定板通过多根挠性立柱与下侧固定轴板连接组成，被检测轴受到外力时，因多根挠性立柱刚性值低，被检测轴能带动固定轴板摆动，同时也带动挠性主轴座右侧挠性立柱的右端面上随动反射平面镜摆动；随动反射平面镜的反光面与固定反射平面镜的反光面互相平行相对，半导体激光器发射的激光经过随动反射平面镜的反光面和固定反射平面镜的反光面的多次反射后，入射到一维PSD位置传感器的感光窗口内。本发明利用柔性铰链主轴座进行力到微位移的转换，再利用光杠杆放大原理，采用PSD进行位置测量，最终检测到了主轴受力，实现了力反馈。
其他摘要	一种基于PSD原理的二维测力主轴夹具，它属于精密测量的技术领域。它的挠性主轴座由上侧固定板通过多根挠性立柱与下侧固定轴板连接组成，被检测轴受到外力时，因多根挠性立柱刚性值低，被检测轴能带动固定轴板摆动，同时也带动挠性主轴座右侧挠性立柱的右端面上随动反射平面镜摆动；随动反射平面镜的反光面与固定反射平面镜的反光面互相平行相对，半导体激光器发射的激光经过随动反射平面镜的反光面和固定反射平面镜的反光面的多次反射后，入射到一维PSD位置传感器的感光窗口内。本发明利用柔性铰链主轴座进行力到微位移的转换，再利用光杠杆放大原理，采用PSD进行位置测量，最终检测到了主轴受力，实现了力反馈。
授权日期	2017-03-22
申请日期	2015-07-06
专利号	CN104907889B
专利状态	授权
申请号	CN201510389563.9
公开（公告）号	CN104907889B
IPC 分类号	B23Q17/00 \| B23Q17/24
专利代理人	高媛
代理机构	哈尔滨龙科专利代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42602
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	哈尔滨工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	丁飞,苏星,王波,等. 一种基于PSD原理的二维测力主轴夹具. CN104907889B[P]. 2017-03-22.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN104907889B.PDF（95KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文