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半導体結晶構造体、半導体レーザおよびその製造方法
其他题名半導体結晶構造体、半導体レーザおよびその製造方法
大塚 信之; 鬼頭 雅弘; 石野 正人; 松井 康
2003-11-28
专利权人松下電器産業株式会社
公开日期2004-02-16
授权国家日本
专利类型授权发明
摘要【目的】 緩和振動周波数が高く、高出力の半導体レーザを提供する。 【構成】 SnドープInP基板1上に成長したInGaAsP導波路層2、厚み6nmのInGaAsP歪井戸層3、厚み10nmのInGaAsPバリア層4、井戸層数10の歪多重量子井戸5、InGaAsP導波路層6、InP電流狭搾層7で構成する。歪多重量子井戸の結晶成長は650℃以上で行う。これにより、歪多重量子井戸5はオーダリングをおこさず、井戸層3に大きな歪を導入することができるため、緩和振動周波数が高く、高出力の半導体レーザを実現できる。
其他摘要要解决的问题:提供弛豫振荡频率高且输出高的半导体激光器。解决方案:半导体激光器由InGaAsP波导层2构成,该InGaAsP波导层2在厚度为6nm的InGaAsP应变阱层3的Sn掺杂InP衬底1,厚度为10nm的InGaAsP势垒层4上生长,应变多量子阱5,其阱层数为10,InGaAsP波导层6和InP电流限制层。应变多量子阱的晶体在650℃或更高温度下生长。因此,应变多量子阱5不产生有序操作,并且可以将大的应变引入阱层3.结果,可以实现弛豫振荡频率高并且其输出为的半导体激光器。高。
授权日期2003-11-28
申请日期1995-08-25
专利号JP3497290B2
专利状态失效
申请号JP1995217226
公开(公告)号JP3497290B2
IPC 分类号H01L | H01S | H01L21/205 | H01S5/32 | H01S5/00
专利代理人岩橋 文雄 (外2名)
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/42171
专题半导体激光器专利数据库
作者单位松下電器産業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
大塚 信之,鬼頭 雅弘,石野 正人,等. 半導体結晶構造体、半導体レーザおよびその製造方法. JP3497290B2[P]. 2003-11-28.
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