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Distributed feedback semiconductor laser for outputting beam of single wavelength
其他题名Distributed feedback semiconductor laser for outputting beam of single wavelength
MORI, HIROSHI; KIKUGAWA, TOMOYUKI; TAKAHASHI, YOSHIO; FUJITA, MOTOAKI
2006-06-20
专利权人ANRITSU CORPORATION
公开日期2006-06-20
授权国家美国
专利类型授权发明
摘要First and second diffraction grating layers are provided above a semiconductor substrate, and are spaced from each other in an output direction of a beam with a flat connecting layer sandwiched therebetween. An active layer is disposed above or below the first and second diffraction grating layers and the connecting layer. A cladding layer is disposed above the active layer or above the first and second diffraction grating layers and the connecting layer. A diffraction grating including the first and second diffraction grating layers has a plurality of slits penetrating from an upper surface to a lower surface that are perpendicular to the output direction of the beam. The connecting layer is formed from two layers grown epitaxially in a direction perpendicular to the output direction of the beam. One of the two layers is formed of the same material as the first and second diffraction grating layers.
其他摘要第一和第二衍射光栅层设置在半导体衬底上方,并且在光束的输出方向上彼此隔开,其间夹有平坦的连接层。有源层设置在第一和第二衍射光栅层和连接层的上方或下方。包层设置在有源层上方或第一和第二衍射光栅层和连接层上方。包括第一和第二衍射光栅层的衍射光栅具有多个从上表面穿透到下表面的狭缝,这些狭缝垂直于光束的输出方向。连接层由在垂直于光束输出方向的方向上外延生长的两层形成。两层中的一层由与第一和第二衍射光栅层相同的材料形成。
授权日期2006-06-20
申请日期2003-06-13
专利号US7065123
专利状态失效
申请号US10/461771
公开(公告)号US7065123
IPC 分类号H01S3/08 | H01S5/00 | H01S5/12
专利代理人-
代理机构FRISHAUF,HOLTZ,GOODMAN & CHICK,P.C.
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/41727
专题半导体激光器专利数据库
作者单位ANRITSU CORPORATION
推荐引用方式
GB/T 7714
MORI, HIROSHI,KIKUGAWA, TOMOYUKI,TAKAHASHI, YOSHIO,et al. Distributed feedback semiconductor laser for outputting beam of single wavelength. US7065123[P]. 2006-06-20.
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