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一种基于波导结构的新型光隔离器
其他题名一种基于波导结构的新型光隔离器
李洵; 朱仲书
2018-04-27
专利权人华中科技大学
公开日期2018-04-27
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要本发明是一种基于光波导结构的新型光隔离器,其无需采用任何磁光材料,由衬底(1)和位于该衬底(1)之上的两部分波导层构成,其中:第一波导(2)为对波导层上通过第一次刻蚀形成的直波导进行第二次刻蚀时,保护一部分不被刻蚀而形成的有一段凸起的波导;第二波导(3)为二次刻蚀时不作保护而得到的普通直波导。本发明用以实现对某一特定波长的TE或TM偏振光进行隔离的功能,基于波导结构实现,与半导体工艺兼容,易于同其他光电子器件(如半导体激光器等)进行单片集成。本发明不依赖于特定的(例磁光)材料特性,因而可以在任意光波导材料上(例各种III‑V族化合物半导体,硅基半导体,及SiO2等)实现。
其他摘要本发明是一种基于光波导结构的新型光隔离器,其无需采用任何磁光材料,由衬底(1)和位于该衬底(1)之上的两部分波导层构成,其中:第一波导(2)为对波导层上通过第一次刻蚀形成的直波导进行第二次刻蚀时,保护一部分不被刻蚀而形成的有一段凸起的波导;第二波导(3)为二次刻蚀时不作保护而得到的普通直波导。本发明用以实现对某一特定波长的TE或TM偏振光进行隔离的功能,基于波导结构实现,与半导体工艺兼容,易于同其他光电子器件(如半导体激光器等)进行单片集成。本发明不依赖于特定的(例磁光)材料特性,因而可以在任意光波导材料上(例各种III‑V族化合物半导体,硅基半导体,及SiO2等)实现。
授权日期2018-04-27
申请日期2014-10-09
专利号CN104280823B
专利状态授权
申请号CN201410532649.8
公开(公告)号CN104280823B
IPC 分类号G02B6/26 | G02B6/122
专利代理人王守仁
代理机构湖北武汉永嘉专利代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/40753
专题半导体激光器专利数据库
作者单位华中科技大学
推荐引用方式
GB/T 7714
李洵,朱仲书. 一种基于波导结构的新型光隔离器. CN104280823B[P]. 2018-04-27.
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CN104280823B.PDF(229KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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