Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
一种用于激光直写曝光机的高功率紫外半导体激光器 | |
其他题名 | 一种用于激光直写曝光机的高功率紫外半导体激光器 |
张宽 | |
2017-01-25 | |
专利权人 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
公开日期 | 2017-01-25 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 实用新型 |
摘要 | 本实用新型涉及一种用于激光直写曝光机的高功率紫外半导体激光器,与现有技术相比解决了尚无高功率紫外半导体激光器的缺陷。本实用新型的上排半导体发光阵列包括16个上光纤耦合模块,下排半导体发光阵列包括16个下光纤耦合模块,16个上光纤耦合模块和16个下光纤耦合模块上均接有光纤;16个上光纤耦合模块所接的光纤捆绑成二号光纤束,二号光纤束接入二号光纤输出端口,16个下光纤耦合模块所接的光纤捆绑成一号光纤束,一号光纤束接入一号光纤输出端口。本实用新型将相应波段半导体发光二极管发出的光通过非球面耦合透镜收进光纤,再对相应波段的光纤进行一定比例的搭配捆绑,达到同一输出光纤束具有高功率波长的目的。 |
其他摘要 | 本实用新型涉及一种用于激光直写曝光机的高功率紫外半导体激光器,与现有技术相比解决了尚无高功率紫外半导体激光器的缺陷。本实用新型的上排半导体发光阵列包括16个上光纤耦合模块,下排半导体发光阵列包括16个下光纤耦合模块,16个上光纤耦合模块和16个下光纤耦合模块上均接有光纤;16个上光纤耦合模块所接的光纤捆绑成二号光纤束,二号光纤束接入二号光纤输出端口,16个下光纤耦合模块所接的光纤捆绑成一号光纤束,一号光纤束接入一号光纤输出端口。本实用新型将相应波段半导体发光二极管发出的光通过非球面耦合透镜收进光纤,再对相应波段的光纤进行一定比例的搭配捆绑,达到同一输出光纤束具有高功率波长的目的。 |
授权日期 | 2017-01-25 |
申请日期 | 2016-07-22 |
专利号 | CN205910495U |
专利状态 | 失效 |
申请号 | CN201620782265.6 |
公开(公告)号 | CN205910495U |
IPC 分类号 | G03F7/20 | H01S5/40 |
专利代理人 | 张祥骞 | 奚华保 |
代理机构 | 合肥天明专利事务所 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/40564 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张宽. 一种用于激光直写曝光机的高功率紫外半导体激光器. CN205910495U[P]. 2017-01-25. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN205910495U.PDF(186KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
个性服务 |
推荐该条目 |
保存到收藏夹 |
查看访问统计 |
导出为Endnote文件 |
谷歌学术 |
谷歌学术中相似的文章 |
[张宽]的文章 |
百度学术 |
百度学术中相似的文章 |
[张宽]的文章 |
必应学术 |
必应学术中相似的文章 |
[张宽]的文章 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论