一种带有标记功能的激光器芯片的制备方法

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	一种带有标记功能的激光器芯片的制备方法
其他题名	一种带有标记功能的激光器芯片的制备方法
	高海根; 冯定; 管锋; 吴文秀
	2018-03-06
专利权人	长江大学
公开日期	2018-03-06
授权国家	中国
专利类型	授权发明
摘要	本发明涉及一种带有标记功能的激光器芯片的制备方法，属于半导体激光器技术领域。本发明通过将外延片经一次光刻、二次光刻和三次光刻后再用四氯化碳，三氯乙烯，丙酮，乙醇将外延片煮沸清洗两遍，再用去离子水冲洗30遍，吹干；最后溅射背面电极AuGeNi/Au，并在420 ℃条件下快速退火35s，制得带有标记功能的激光器芯片，通过本发明制备的激光器芯片，相对于现有的激光器芯片增加了标记区和辅助块的设计，对外延片质量及芯片良品率进行评估时，只需进行抽样测试即可满足评估要求。该本发明制备的激光器芯片结构简单，大大降低了评估芯片的工作量，而且还提高了产品的使用率，特别适合激光器进行芯片测试、使用的需要。
其他摘要	本发明涉及一种带有标记功能的激光器芯片的制备方法，属于半导体激光器技术领域。本发明通过将外延片经一次光刻、二次光刻和三次光刻后再用四氯化碳，三氯乙烯，丙酮，乙醇将外延片煮沸清洗两遍，再用去离子水冲洗30遍，吹干；最后溅射背面电极AuGeNi/Au，并在420 ℃条件下快速退火35s，制得带有标记功能的激光器芯片，通过本发明制备的激光器芯片，相对于现有的激光器芯片增加了标记区和辅助块的设计，对外延片质量及芯片良品率进行评估时，只需进行抽样测试即可满足评估要求。该本发明制备的激光器芯片结构简单，大大降低了评估芯片的工作量，而且还提高了产品的使用率，特别适合激光器进行芯片测试、使用的需要。
授权日期	2018-03-06
申请日期	2015-12-03
专利号	CN105390935B
专利状态	授权
申请号	CN201510880494.1
公开（公告）号	CN105390935B
IPC 分类号	H01S5/24
专利代理人	周宗扬
代理机构	荆州市亚德专利事务所(普通合伙)
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/40520
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	长江大学
推荐引用方式 GB/T 7714	高海根,冯定,管锋,等. 一种带有标记功能的激光器芯片的制备方法. CN105390935B[P]. 2018-03-06.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN105390935B.PDF（70KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文