Method of varying a characteristic of an optical vertical cavity structure formed by metalorganic vapor phase epitaxy

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	Method of varying a characteristic of an optical vertical cavity structure formed by metalorganic vapor phase epitaxy
其他题名	Method of varying a characteristic of an optical vertical cavity structure formed by metalorganic vapor phase epitaxy
	HOU, HONG Q.; COLTRIN, MICHAEL E.; CHOQUETTE, KENT D.
	2001-07-10
专利权人	NATIONAL TECHNOLOGY & ENGINEERING SOLUTIONS OF SANDIA, LLC
公开日期	2001-07-10
授权国家	美国
专利类型	授权发明
摘要	A process for forming an array of vertical cavity optical resonant structures wherein the structures in the array have different detection or emission wavelengths. The process uses selective area growth (SAG) in conjunction with annular masks of differing dimensions to control the thickness and chemical composition of the materials in the optical cavities in conjunction with a metalorganic vapor phase epitaxy (MOVPE) process to build these arrays.
其他摘要	一种形成垂直腔光学共振结构阵列的方法，其中阵列中的结构具有不同的检测或发射波长。该方法结合不同尺寸的环形掩模使用选择性区域生长（SAG）来控制光学腔中材料的厚度和化学组成，同时结合金属有机气相外延（MOVPE）工艺来构建这些阵列。
授权日期	2001-07-10
申请日期	1998-11-12
专利号	US6258615
专利状态	失效
申请号	US09/191070
公开（公告）号	US6258615
IPC 分类号	H01L21/02 \| H01L21/20 \| H01S5/42 \| H01S5/00 \| H01S5/02 \| H01S5/40 \| H01S5/20 \| H01S5/183 \| H01L21/00
专利代理人	-
代理机构	CONE, GREGORY A.
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/39730
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	NATIONAL TECHNOLOGY & ENGINEERING SOLUTIONS OF SANDIA, LLC
推荐引用方式 GB/T 7714	HOU, HONG Q.,COLTRIN, MICHAEL E.,CHOQUETTE, KENT D.. Method of varying a characteristic of an optical vertical cavity structure formed by metalorganic vapor phase epitaxy. US6258615[P]. 2001-07-10.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
US6258615.PDF（91KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文