一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置

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	一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置
其他题名	一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置
	杨为家; 陈明辉; 何鑫; 吴质朴; 何畏; 陈强; 曾庆光; 刘乐
	2019-07-23
专利权人	五邑大学
公开日期	2019-07-23
授权国家	中国
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型涉及一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置，包括氧化炉腔体、加热装置、高温水蒸气发生装置、红外成像仪、控制系统，加热装置设置在氧化炉腔体下端，高温水蒸气发生装置通过管道与氧化炉腔体相连通，所述的红外成像仪设置在氧化腔体的上端，部分所述的红外成像仪伸入氧化炉腔体内，红外成像仪与控制系统连接，本实用新型结构简单、设计合理、实用性强，通过加热装置VCSEL加热，并通过高温水蒸气发生装置将产生的高温水蒸气输送至腔体中，实现VCSEL的氧化，然后通过红外成像仪实现氧化前后的图像采集，并通过控制系统处理得到氧化物限制窗口的大小和氧化速率，该装置结构简单，进一步降低了测试成本，而且测试简单、易操作，测试结果准确。
其他摘要	本实用新型涉及一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置，包括氧化炉腔体、加热装置、高温水蒸气发生装置、红外成像仪、控制系统，加热装置设置在氧化炉腔体下端，高温水蒸气发生装置通过管道与氧化炉腔体相连通，所述的红外成像仪设置在氧化腔体的上端，部分所述的红外成像仪伸入氧化炉腔体内，红外成像仪与控制系统连接，本实用新型结构简单、设计合理、实用性强，通过加热装置VCSEL加热，并通过高温水蒸气发生装置将产生的高温水蒸气输送至腔体中，实现VCSEL的氧化，然后通过红外成像仪实现氧化前后的图像采集，并通过控制系统处理得到氧化物限制窗口的大小和氧化速率，该装置结构简单，进一步降低了测试成本，而且测试简单、易操作，测试结果准确。
授权日期	2019-07-23
申请日期	2018-07-17
专利号	CN209148245U
专利状态	授权
申请号	CN201821125299.3
公开（公告）号	CN209148245U
IPC 分类号	G01M11/00
专利代理人	吴伟文
代理机构	广州市红荔专利代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38763
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	五邑大学
推荐引用方式 GB/T 7714	杨为家,陈明辉,何鑫,等. 一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置. CN209148245U[P]. 2019-07-23.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN209148245U.PDF（362KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文