一种垂直腔面发射激光器及其制作方法

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	一种垂直腔面发射激光器及其制作方法
其他题名	一种垂直腔面发射激光器及其制作方法
	张星; 钟础宇; 张建伟; 宁永强; 王立军
	2019-07-23
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2019-07-23
授权国家	中国
专利类型	授权发明
摘要	本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，包括：层叠设置的有源层、功能辅助层和P型DBR层，功能辅助层和P型DBR层构成台面结构；P型DBR层设置有沟道；台面结构被沟道分割成多个次台面结构；各次台面结构的上端设置有与次台面结构一一对应的P面电极，这样利用沟道可以形成多个波导，使载流子分布和波导联系起来，进而实现单个电极独立控制单个模式输出，多个电极混合控制少数模式输出。本发明还公开了一种垂直腔面发射激光器的制作方法，可以直接在台面结构上刻蚀形成沟道，实现了新的模式控制方式，且由于所有模式都在一个台面上输出，可以直接与光纤耦合，省去复用器的使用。
其他摘要	本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，包括：层叠设置的有源层、功能辅助层和P型DBR层，功能辅助层和P型DBR层构成台面结构；P型DBR层设置有沟道；台面结构被沟道分割成多个次台面结构；各次台面结构的上端设置有与次台面结构一一对应的P面电极，这样利用沟道可以形成多个波导，使载流子分布和波导联系起来，进而实现单个电极独立控制单个模式输出，多个电极混合控制少数模式输出。本发明还公开了一种垂直腔面发射激光器的制作方法，可以直接在台面结构上刻蚀形成沟道，实现了新的模式控制方式，且由于所有模式都在一个台面上输出，可以直接与光纤耦合，省去复用器的使用。
授权日期	2019-07-23
申请日期	2017-04-27
专利号	CN106887788B
专利状态	授权
申请号	CN201710287115.7
公开（公告）号	CN106887788B
IPC 分类号	H01S5/183
专利代理人	罗满
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38751
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	张星,钟础宇,张建伟,等. 一种垂直腔面发射激光器及其制作方法. CN106887788B[P]. 2019-07-23.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN106887788B.PDF（744KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文