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一种激光陀螺高反镜表面散射光检测装置
其他题名一种激光陀螺高反镜表面散射光检测装置
高爱华; 侯劲尧; 刘卫国; 秦文罡; 韦瑶
2019-07-09
专利权人西安工业大学
公开日期2019-07-09
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要本实用新型涉及一种激光陀螺高反镜表面散射光检测装置,该装置由半导体激光器、CCD成像系统、两个积分散射率测量组件和陷光器构成,所述CCD成像系统包括CCD相机和显微镜头,所述激光光束入射光路上依次设置有光束切换转筒和背向积分散射率测量组件,反射光路上设置有前向积分散射率测量组件。本实用新型的测量装置克服现有技术不能同时检测激光陀螺高反射镜的疵病和疵病区域造成的背向散射率和前向散射率的问题。
其他摘要本实用新型涉及一种激光陀螺高反镜表面散射光检测装置,该装置由半导体激光器、CCD成像系统、两个积分散射率测量组件和陷光器构成,所述CCD成像系统包括CCD相机和显微镜头,所述激光光束入射光路上依次设置有光束切换转筒和背向积分散射率测量组件,反射光路上设置有前向积分散射率测量组件。本实用新型的测量装置克服现有技术不能同时检测激光陀螺高反射镜的疵病和疵病区域造成的背向散射率和前向散射率的问题。
授权日期2019-07-09
申请日期2018-11-05
专利号CN209086171U
专利状态授权
申请号CN201821809590.2
公开(公告)号CN209086171U
IPC 分类号G01N21/95 | G01N21/958 | G01N21/47 | G01N21/01
专利代理人黄秦芳
代理机构西安新思维专利商标事务所有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38716
专题半导体激光器专利数据库
作者单位西安工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
高爱华,侯劲尧,刘卫国,等. 一种激光陀螺高反镜表面散射光检测装置. CN209086171U[P]. 2019-07-09.
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