Methods for photo-excitation of precursors in epitaxial processes using a rotary scanning unit

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	Methods for photo-excitation of precursors in epitaxial processes using a rotary scanning unit
其他题名	Methods for photo-excitation of precursors in epitaxial processes using a rotary scanning unit
	MOFFATT, STEPHEN
	2016-11-22
专利权人	APPLIED MATERIALS, INC.
公开日期	2016-11-22
授权国家	美国
专利类型	授权发明
摘要	Embodiments of the invention provide a method and apparatus for depositing a layer on a substrate. In one embodiment, the method includes exposing a surface of the substrate disposed within a processing chamber to a fluid precursor, directing an electromagnetic radiation generated from a radiation source to a light scanning unit such that the electromagnetic radiation is deflected and scanned across the surface of the substrate upon which a material layer is to be formed, and initiating a deposition process with the electromagnetic radiation having a wavelength selected for photolytic dissociation of the fluid precursor to deposit the material layer onto the surface of the substrate. The radiation source may comprise a laser source, a bright light emitting diode (LED) source, or a thermal source. In one example, the radiation source is a fiber laser producing output in the ultraviolet (UV) wavelength range.
其他摘要	本发明的实施例提供了一种用于在衬底上沉积层的方法和装置。在一个实施例中，该方法包括将设置在处理室内的衬底的表面暴露于流体前体，将从辐射源产生的电磁辐射引导至光扫描单元，使得电磁辐射偏转并扫描其上将形成材料层的衬底，以及用具有选择用于流体前体的光解离的波长的电磁辐射开始沉积过程，以将材料层沉积到衬底的表面上。辐射源可以包括激光源，亮发光二极管（LED）源或热源。在一个示例中，辐射源是在紫外（UV）波长范围内产生输出的光纤激光器。
授权日期	2016-11-22
申请日期	2014-02-21
专利号	US9499909
专利状态	授权
申请号	US14/186837
公开（公告）号	US9499909
IPC 分类号	H01L21/00 \| C30B25/02 \| C23C16/28 \| C23C16/455 \| C30B25/16 \| C30B30/00 \| H01L21/02 \| C23C16/48
专利代理人	-
代理机构	PATTERSON & SHERIDAN, LLP
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38643
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	APPLIED MATERIALS, INC.
推荐引用方式 GB/T 7714	MOFFATT, STEPHEN. Methods for photo-excitation of precursors in epitaxial processes using a rotary scanning unit. US9499909[P]. 2016-11-22.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
US9499909.PDF（883KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文