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Devices having removed aluminum nitride sections
其他题名Devices having removed aluminum nitride sections
CHUA, CHRISTOPHER L.; KRUSOR, BRENT S.; WUNDERER, THOMAS; JOHNSON, NOBLE M.
2015-06-23
专利权人PALO ALTO RESEARCH CENTER INCORPORATED
公开日期2015-06-23
授权国家美国
专利类型授权发明
摘要One or more layers are epitaxially grown on a bulk crystalline AlN substrate. The epitaxial layers include a surface which is the initial surface of epitaxial growth of the epitaxial layers. The AlN substrate is substantially removed over a majority of the initial surface of epitaxial growth.
其他摘要在块状晶体AlN衬底上外延生长一层或多层。外延层包括表面,该表面是外延层的外延生长的初始表面。在外延生长的大部分初始表面上基本上去除AlN衬底。
授权日期2015-06-23
申请日期2011-08-25
专利号US9064980
专利状态授权
申请号US13/217844
公开(公告)号US9064980
IPC 分类号H01L29/15 | H01L33/00 | H01L21/00
专利代理人-
代理机构HOLLINGSWORTH DAVIS, LLC
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38566
专题半导体激光器专利数据库
作者单位PALO ALTO RESEARCH CENTER INCORPORATED
推荐引用方式
GB/T 7714
CHUA, CHRISTOPHER L.,KRUSOR, BRENT S.,WUNDERER, THOMAS,et al. Devices having removed aluminum nitride sections. US9064980[P]. 2015-06-23.
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