Silicon photonics alignment tolerant vertical grating couplers

OPT OpenIR > 半导体激光器专利数据库

	Silicon photonics alignment tolerant vertical grating couplers
其他题名	Silicon photonics alignment tolerant vertical grating couplers
	ELLIS-MONAGHAN, JOHN, J.; GREEN, WILLIAM, M., J.; HOFRICHTER, JENS; KHATER, MARWAN, H.; ROSENBERG, JESSIE, C.; SHANK, STEVEN, M.
	2016-03-01
专利权人	GLOBALFOUNDRIES INC.
公开日期	2016-03-01
授权国家	美国
专利类型	授权发明
摘要	Disclosed are optoelectronic integrated circuit structures that incorporate a first optical waveguide, having a semiconductor core, indirectly coupled to a grating coupler through a second optical waveguide, having a dielectric core, in order provide a relatively large alignment tolerance. The dielectric core can comprise multiple dielectric layers above one end of the semiconductor core and extending laterally over an isolation region adjacent to that end. The grating coupler can include dielectric fins above the isolation region. Alternatively, the grating coupler can include semiconductor fins within the isolation region. Also disclosed herein are methods of forming such optoelectronic integrated circuit structures that can be readily integrated with complementary metal oxide semiconductor (CMOS) device processing and germanium photodetector processing.
其他摘要	公开了一种光电集成电路结构，其包括具有半导体核心的第一光学波导，通过具有介电芯的第二光学波导间接耦合到光栅耦合器，以便提供相对大的对准公差。介电芯可以包括在半导体芯的一端上方的多个介电层，并且在与该端相邻的隔离区上横向延伸。光栅耦合器可以包括隔离区上方的介电鳍。或者，光栅耦合器可以包括隔离区域内的半导体鳍片。本文还公开了形成这种光电集成电路结构的方法，该光电集成电路结构可以容易地与互补金属氧化物半导体（CMOS）器件处理和锗光电探测器处理集成。
授权日期	2016-03-01
申请日期	2014-09-30
专利号	US9274283
专利状态	授权
申请号	US14/501720
公开（公告）号	US9274283
IPC 分类号	G02B6/34 \| G02B6/132 \| G02B6/30 \| G02B6/12
专利代理人	-
代理机构	GIBB & RILEY, LLC
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/37779
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	GLOBALFOUNDRIES INC.
推荐引用方式 GB/T 7714	ELLIS-MONAGHAN, JOHN, J.,GREEN, WILLIAM, M., J.,HOFRICHTER, JENS,et al. Silicon photonics alignment tolerant vertical grating couplers. US9274283[P]. 2016-03-01.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
US9274283.PDF（2876KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文