Micro benchtop optics by bulk silicon micromachining

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	Micro benchtop optics by bulk silicon micromachining
其他题名	Micro benchtop optics by bulk silicon micromachining
	LEE, ABRAHAM P.; POCHA, MICHAEL D.; MCCONAGHY, CHARLES F.; DERI, ROBERT J.
	2000-06-06
专利权人	LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL SECURITY LLC
公开日期	2000-06-06
授权国家	美国
专利类型	授权发明
摘要	Micromachining of bulk silicon utilizing the parallel etching characteristics of bulk silicon and integrating the parallel etch planes of silicon with silicon wafer bonding and impurity doping, enables the fabrication of on-chip optics with in situ aligned etched grooves for optical fibers, micro-lenses, photodiodes, and laser diodes. Other optical components that can be microfabricated and integrated include semi-transparent beam splitters, micro-optical scanners, pinholes, optical gratings, micro-optical filters, etc. Micromachining of bulk silicon utilizing the parallel etching characteristics thereof can be utilized to develop miniaturization of bio-instrumentation such as wavelength monitoring by fluorescence spectrometers, and other miniaturized optical systems such as Fabry-Perot interferometry for filtering of wavelengths, tunable cavity lasers, micro-holography modules, and wavelength splitters for optical communication systems.
其他摘要	利用体硅的平行蚀刻特性对硅体进行微机械加工，并将硅的平行蚀刻面与硅晶片键合和杂质掺杂相结合，使得能够制造具有原位对准的蚀刻槽的片上光学器件，用于光纤，微透镜，光电二极管和激光二极管。可以微制造和集成的其他光学部件包括半透明分束器，微光学扫描器，针孔，光栅，微光学滤波器等。利用其平行蚀刻特性的体硅的微机械加工可用于发展小型化生物仪器，例如荧光光谱仪的波长监测，以及其他小型光学系统，例如用于波长滤波的法布里 - 珀罗干涉测量法，可调谐腔激光器，微全息模块和用于光通信系统的波长分离器。
授权日期	2000-06-06
申请日期	1997-12-08
专利号	US6071426
专利状态	失效
申请号	US08/986477
公开（公告）号	US6071426
IPC 分类号	G01B9/02 \| G02B6/34 \| G02B6/122 \| G02B6/28 \| G02B6/36 \| G02B6/12 \| G02B6/32 \| G02B6/136 \| B29D11/00
专利代理人	-
代理机构	CARNAHAN, L.E. THOMPSON, ALAN H.
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/36453
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL SECURITY LLC
推荐引用方式 GB/T 7714	LEE, ABRAHAM P.,POCHA, MICHAEL D.,MCCONAGHY, CHARLES F.,et al. Micro benchtop optics by bulk silicon micromachining. US6071426[P]. 2000-06-06.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
US6071426.PDF（483KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文