Method of making an integrated, microminiature electric-to-fluidic valve

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	Method of making an integrated, microminiature electric-to-fluidic valve
其他题名	Method of making an integrated, microminiature electric-to-fluidic valve
	ZDEBLICK, MARK
	1990-10-30
专利权人	BOARD OF TRUSTEES OF LELAND STANFORD UNIVERSITY
公开日期	1990-10-30
授权国家	美国
专利类型	授权发明
摘要	A method of making an integrated, microminiature, electric-to-fluidic valve. The method comprises, in one embodiment, anisotropically etching a cavity in a silicon wafer to form a thin membrane at the bottom of a trench. Then a second wafer is etched to form an exit path surrounded by a valve seat positioned such that when these two wafers are sandwiched together, the valve seat lies under the membrane. An input passageway joining a manifold cavity formed around the valve seat is then etched in the surface of the second wafer which will mate with the diaphragm side of the first wafer. The two wafers are then bonded together after suitable alignment. A third pyrex wafer is then coated with a resistor material which will be over the cavity in the first wafer when the first and third wafers are bonded together. Conductive leads and wire attach pads are also formed. Finally, a fill hole is etched into the third wafer over the position of the cavity such that the cavity can be filled. The first and third wafers are then bonded together to complete the valve.
其他摘要	一种制造集成的微型电动流体阀的方法。在一个实施例中，该方法包括各向异性地蚀刻硅晶片中的腔以在沟槽的底部形成薄膜。然后蚀刻第二晶片以形成由阀座围绕的出口路径，该阀座定位成使得当这两个晶片夹在一起时，阀座位于膜下方。然后，在第二晶片的表面中蚀刻连接围绕阀座形成的歧管腔的输入通道，该第二晶片的表面将与第一晶片的膜片侧配合。然后在适当对准后将两个晶片粘合在一起。然后用电阻器材料涂覆第三pyrex晶片，当第一和第三晶片粘合在一起时，该电阻器材料将在第一晶片的空腔上方。还形成导电引线和导线连接垫。最后，在腔体的位置上将填充孔蚀刻到第三晶片中，使得可以填充腔体。然后将第一和第三晶片粘合在一起以完成阀门。
授权日期	1990-10-30
申请日期	1988-10-26
专利号	US4966646
专利状态	失效
申请号	US07/263117
公开（公告）号	US4966646
IPC 分类号	F15C3/00 \| F15C5/00 \| F15C3/04 \| G02B3/00 \| G02B6/36 \| H01L21/306 \| H01L21/02 \| F16K99/00 \| B44C1/22 \| C23F1/02 \| C03C15/00
专利代理人	-
代理机构	SKJERVEN,MORRILL,MACPHERSON,FRANKLIN & FRIEL
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/35909
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	BOARD OF TRUSTEES OF LELAND STANFORD UNIVERSITY
推荐引用方式 GB/T 7714	ZDEBLICK, MARK. Method of making an integrated, microminiature electric-to-fluidic valve. US4966646[P]. 1990-10-30.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
US4966646.PDF（734KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文