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ファイバ/導波路-鏡-レンズアラインメント装置
其他题名ファイバ/導波路-鏡-レンズアラインメント装置
ディーン·トラン; エリック·アール·アンダーソン; ロナルド·エル·ストリイェク; エドワード·エイ·レゼク
2000-12-08
专利权人ティーアールダブリュー·インコーポレーテッド
公开日期2001-02-26
授权国家日本
专利类型授权发明
摘要【課題】 光学装置同士の間の光エネルギーを結合するためのモノリシック集積アラインメント装置と、III-V半導体の異方性エッチ特性を使用したその製造方法とを提供する。 【解決手段】 リン化インジウム(InP)等のIII-V半導体基板36、ファイバ溝38、レンズ39、及び反射鏡40を含む光学アラインメント装置であり、ファイバ溝38は精密な光ファイバ位置決めのための自然のチャンネルとなり、そこで光エネルギー42は光ファイバ44から放射され、反射鏡40で方向変換され、レンズ39で集束されて光学検出器装置46で集められる。
其他摘要要解决的问题:提供一种用于在光学装置之间耦合光能的单片集成对准装置及其制造方法,其使用III-V半导体的各向异性蚀刻特性。 解决方案:该光学对准装置包括诸如磷化铟(InP)的III-V半导体衬底36,光纤凹槽38,透镜39和反射镜40,并且光纤凹槽38用于精确的光纤定位在光纤44发射光能42的情况下,由反射镜40转向,由透镜39聚焦并由光学检测器装置46收集。
授权日期2000-12-08
申请日期1999-05-07
专利号JP3137958B2
专利状态失效
申请号JP1999127703
公开(公告)号JP3137958B2
IPC 分类号G02B6/12 | G02B6/36 | H01L33/00 | H01L | G02B | H01L31/0232 | G02B6/42 | H01S | H01S5/026 | G02B6/32 | H01S5/00
专利代理人社本 一夫 (外5名)
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/35295
专题半导体激光器专利数据库
作者单位ティーアールダブリュー·インコーポレーテッド
推荐引用方式
GB/T 7714
ディーン·トラン,エリック·アール·アンダーソン,ロナルド·エル·ストリイェク,等. ファイバ/導波路-鏡-レンズアラインメント装置. JP3137958B2[P]. 2000-12-08.
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