用於積體電路動態診斷測試的裝置及方法

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	用於積體電路動態診斷測試的裝置及方法
其他题名	用於積體電路動態診斷測試的裝置及方法
	奈德派克德門; 史帝文卡薩皮; 伊茲克金博格
	2006-10-21
专利权人	亞帕托尼克斯公司
公开日期	2006-10-21
授权国家	中国台湾
专利类型	授权发明
摘要	一種非接觸量測積體電路內多種類電力活動之系統與方法。本發明可對位於晶圓上在不同製程階段各種元件或完成製程循環並完成封裝部分進行快速測試。導入於測試電路中的電源係使用習知機械性探針或其他裝置導入，例如將連續波雷射光導入於測試電路導入之光接收裝置之上。藉著使用非接觸的方法激發電路而將電子測試信號導入測試電路，例如藉由導引一個或多個模式鎖定雷射投射在電路上的高速接收器上的輸出或是藉著使用高速脈衝二極體雷射。電路內之電力活動對於測試信號的反應是藉著接收元件來感測，此例如時間解析光計數偵測器、靜態發射攝影機系統或是藉著主動式雷射探針系統。已收集的資訊適用於多種目的，包含有製程監控、新製程的評定和模式確認。
其他摘要	一種非接觸量測積體電路內多種類電力活動之系統與方法。本發明可對位於晶圓上在不同製程階段各種元件或完成製程循環並完成封裝部分進行快速測試。導入於測試電路中的電源係使用習知機械性探針或其他裝置導入，例如將連續波雷射光導入於測試電路導入之光接收裝置之上。藉著使用非接觸的方法激發電路而將電子測試信號導入測試電路，例如藉由導引一個或多個模式鎖定雷射投射在電路上的高速接收器上的輸出或是藉著使用高速脈衝二極體雷射。電路內之電力活動對於測試信號的反應是藉著接收元件來感測，此例如時間解析光計數偵測器、靜態發射攝影機系統或是藉著主動式雷射探針系統。已收集的資訊適用於多種目的，包含有製程監控、新製程的評定和模式確認。
申请日期	2003-01-23
专利号	TWI264791B
专利状态	失效
申请号	TW092101517
公开（公告）号	TWI264791B
IPC 分类号	H01L21/66 \| G01R1/06 \| G01R31/302 \| G01R31/311 \| G01R31/3185
专利代理人	蔡坤財
代理机构	-
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/34485
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	亞帕托尼克斯公司
推荐引用方式 GB/T 7714	奈德派克德門,史帝文卡薩皮,伊茲克金博格. 用於積體電路動態診斷測試的裝置及方法. TWI264791B[P]. 2006-10-21.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
TWI264791B.PDF（3676KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文