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Vertical cavity surface emitting laser element, vertical cavity surface emitting laser array, optical scanning device, and image forming apparatus
其他题名Vertical cavity surface emitting laser element, vertical cavity surface emitting laser array, optical scanning device, and image forming apparatus
HANAOKA, KATSUNARI
2013-12-03
专利权人RICOH COMPANY, LTD.
公开日期2013-12-03
授权国家美国
专利类型授权发明
摘要A disclosed vertical cavity surface emitting laser element includes a substrate, a laminated body sandwiching a semiconductor active layer with an upper reflecting mirror and a lower reflecting mirror, a lower electrode, and an upper electrode. The laser element emits laser light in a direction perpendicular to the surface of the substrate when an electric current is supplied between the upper electrode and the lower electrode. The laser element further includes a selective oxidation layer in the upper reflecting mirror having a current blocking structure made of an oxidized region and an unoxidized region, and a detectable portion formed on a side surface of a mesa structure shaped by the upper reflecting mirror including the selective oxidation layer and the active layer, thereby enabling detecting the position of the selective oxidation layer from a top of the laminated body in a depth direction of the laminated body.
其他摘要所公开的垂直腔表面发射激光器元件包括基板,夹着具有上反射镜和下反射镜的半导体有源层的层叠体,下电极和上电极。当在上电极和下电极之间提供电流时,激光元件在垂直于基板表面的方向上发射激光。激光元件还包括在上反射镜中的选择性氧化层,其具有由氧化区域和未氧化区域构成的电流阻挡结构,以及形成在由包括上部反射镜的上部反射镜形成的台面结构的侧表面上的可检测部分。选择性氧化层和活性层,从而能够在层叠体的深度方向上从层叠体的顶部检测选择性氧化层的位置。
申请日期2009-12-22
专利号US8599233
专利状态授权
申请号US13/147239
公开(公告)号US8599233
IPC 分类号B41J2/45 | H01S5/00
专利代理人-
代理机构COOPER & DUNHAM LLP
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/34049
专题半导体激光器专利数据库
作者单位RICOH COMPANY, LTD.
推荐引用方式
GB/T 7714
HANAOKA, KATSUNARI. Vertical cavity surface emitting laser element, vertical cavity surface emitting laser array, optical scanning device, and image forming apparatus. US8599233[P]. 2013-12-03.
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