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Method of manufacture for an ultraviolet laser diode
其他题名Method of manufacture for an ultraviolet laser diode
RARING, JAMES W.; MCLAURIN, MELVIN; RUDY, PAUL; HSU, PO SHAN; SZTEIN, ALEXANDER
2019-01-29
专利权人SORAA LASER DIODE, INC.
公开日期2019-01-29
授权国家美国
专利类型授权发明
摘要A method for fabricating a laser diode device includes providing a gallium and nitrogen containing substrate member comprising a surface region, a release material overlying the surface region, an n-type gallium and nitrogen containing material; an active region overlying the n-type gallium and nitrogen containing material, a p-type gallium and nitrogen containing material; and a first transparent conductive oxide material overlying the p-type gallium and nitrogen containing material, and an interface region overlying the first transparent conductive oxide material. The method includes bonding the interface region to a handle substrate and subjecting the release material to an energy source to initiate release of the gallium and nitrogen containing substrate member.
其他摘要一种制造激光二极管器件的方法,包括提供含镓和氮的基板构件,该基板构件包括表面区域,覆盖表面区域的剥离材料,n型含镓和氮的材料;覆盖n型含镓和氮材料的有源区,p型含镓和氮的材料;和覆盖在p型含镓和氮的材料上的第一透明导电氧化物材料,以及覆盖在第一透明导电氧化物材料上的界面区域。该方法包括将界面区域粘合到处理衬底上,并使剥离材料经受能量源以引发含镓和氮的衬底构件的释放。
申请日期2017-06-02
专利号US10193309
专利状态授权
申请号US15/612897
公开(公告)号US10193309
IPC 分类号H01S5/34 | H01S5/02 | H01S5/042 | H01S5/22 | H01S5/343
专利代理人-
代理机构KILPATRICK TOWNSEND & STOCKTON LLP
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/32351
专题半导体激光器专利数据库
作者单位SORAA LASER DIODE, INC.
推荐引用方式
GB/T 7714
RARING, JAMES W.,MCLAURIN, MELVIN,RUDY, PAUL,et al. Method of manufacture for an ultraviolet laser diode. US10193309[P]. 2019-01-29.
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