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激光束分析装置
其他题名激光束分析装置
迈克尔·J·斯卡格斯
2016-02-03
专利权人HAAS激光技术公司
公开日期2016-02-03
授权国家中国
专利类型授权发明
摘要一种使得能够实时测量由高功率激光束产生的激光束的空间轮廓、圆度、形心、像散和M2值的装置。本装置采用了在过程应用中使用的光学器件,包括聚焦透镜和覆盖玻璃。衰减模块包括以相对于激光束的共同入射角、以彼此平行隔开的关系设置的一对高反射镜板。束流收集器在该激光束的传播路径之外并且以接收由该第一和第二镜反射的光的关系定位。相机检测通过该第一和第二镜的光的斑点。由高反射性镜对形成的高功率衰减器定位在源和衰减模块之间。第二实施例包括具有高反射性表面的单个镜板。
其他摘要一种使得能够实时测量由高功率激光束产生的激光束的空间轮廓、圆度、形心、像散和M2值的装置。本装置采用了在过程应用中使用的光学器件,包括聚焦透镜和覆盖玻璃。衰减模块包括以相对于激光束的共同入射角、以彼此平行隔开的关系设置的一对高反射镜板。束流收集器在该激光束的传播路径之外并且以接收由该第一和第二镜反射的光的关系定位。相机检测通过该第一和第二镜的光的斑点。由高反射性镜对形成的高功率衰减器定位在源和衰减模块之间。第二实施例包括具有高反射性表面的单个镜板。
申请日期2011-04-08
专利号CN103098319B
专利状态授权
申请号CN201180028392.7
公开(公告)号CN103098319B
IPC 分类号H01S3/10 | H01S5/0683
专利代理人孙志湧 | 安翔
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/32266
专题半导体激光器专利数据库
作者单位HAAS激光技术公司
推荐引用方式
GB/T 7714
迈克尔·J·斯卡格斯. 激光束分析装置. CN103098319B[P]. 2016-02-03.
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