一种曲面棱镜非接触检测方法及装置

OPT OpenIR > 光谱成像技术研究室

	一种曲面棱镜非接触检测方法及装置
	李立波; 赵强; 孙丽军; 武俊强; 付西红
	2018-10-11
专利权人	中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期	2019-03-22
授权国家	中国
专利类型	发明专利
产权排序	1
摘要	本发明涉及光学检测技术领域，针对现有曲面棱镜的接触检测方法容易损伤棱镜光学表面、测试精度低；非接触检测方法测试光路复杂，无法实现定量检测等问题，提供一种曲面棱镜非接触检测方法及装置。其中，检测方法包括以下步骤：1)自准直显微镜与球面干涉仪对准；2)将待测曲面棱镜放置于自准直显微镜和球面干涉仪之间，使待测曲面棱镜的凸面位于球面干涉仪前；3)用球面干涉仪检测待测曲面棱镜凸面，调整待测曲面棱镜，实现待测曲面棱镜的凸面与球面干涉仪光束自准；然后，用自准直显微镜检测待测曲面棱镜凹面，移动自准直显微镜，实现自准直显微镜与待测曲面棱镜的凹面自准；则自准直显微镜的相对移动量即为待测曲面棱镜球心距离。
主权项	一种曲面棱镜非接触检测方法，其特征在于，包括以下步骤： 1)将自准直显微镜(2)与球面干涉仪(4)镜头相对设置在光学平台上，使自准直显微镜(2)与球面干涉仪(4)对准； 2)将待测曲面棱镜(3)放置于自准直显微镜(2)和球面干涉仪(4)之间，使待测曲面棱镜(3)的凸面位于球面干涉仪(4)前； 3)使用球面干涉仪(4)检测待测曲面棱镜(3)的凸面，调整待测曲面棱镜(3)，直至球面干涉仪(4)测得的待测曲面棱镜(3)凸面面形屈光度、倾斜均为零；然后，使用自准直显微镜(2)检测待测曲面棱镜(3)的凹面，移动自准直显微镜(2)，直至能够清晰观察到经待测曲面棱镜(3)凹面反射后的自准直显微镜(2)分划板像，且该分划板像位于自准直显微镜(2)视场中心；则自准直显微镜(2)的相对移动量即为待测曲面棱镜(3)球心距离；或者；使用自准直显微镜(2)检测待测曲面棱镜(3)的凹面，调整待测曲面棱镜(3)，直至能够清晰观察到经待测曲面棱镜(3)凹面反射后的自准直显微镜(2)分划板像，且该分划板像位于自准直显微镜(2)视场中心；然后，使用球面干涉仪(4)检测待测曲面棱镜(3)的凸面，移动球面干涉仪(4)，直至球面干涉仪(4)测得的测曲面棱镜(3)凸面面形屈光度、倾斜均为零；则球面干涉仪(4)的相对移动量即为待测曲面棱镜(3)球心距离。
申请日期	2018-10-11
专利号	CN201811183471.5
语种	中文
专利状态	申请中
申请号	CN201811183471.5
公开（公告）号	CN109506899A
IPC 分类号	G01M11/02
专利代理人	肖建华
代理机构	西安智邦专利商标代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31770
专题	光谱成像技术研究室
作者单位	中国科学院西安光学精密机械研究所
第一作者单位	中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	李立波,赵强,孙丽军,等. 一种曲面棱镜非接触检测方法及装置. CN201811183471.5[P]. 2018-10-11.

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文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
一种曲面棱镜非接触检测方法及装置.pdf（628KB）	专利		限制开放	CC BY-NC-SA	请求全文