一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置

doi:G02B26

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	一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置
其他题名	一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置
	李明
	2018-12-21
专利权人	中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期	2018-06-15
授权国家	中国
专利类型	发明专利
产权排序	1
摘要	本发明提出了一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置，采用空间光束柔性传输技术，对大幅面复杂图案进行激光制造，主要包括：规划光束空间扫描路径，进行光束空间扫描，根据扫描结果，由传输定位运动平台控制构件在空间中运动，对光斑位置进行准确定位；将激光扫描速度和激光脉冲关联，扫描速度越快，激光脉冲个数越多，通过控制扫描速度和激光脉冲个数对大幅面复杂图案精细制造；通过空间四自由度旋转臂对光束进行控制，由水平及垂直旋转轴的运动完成控制过程，在控制过程中保持水平与垂直旋转轴的同步，通过CMOS相机监控光束角度偏差，角度偏差经过反射镜，由光束位置检测器检测光束偏转角度；根据偏转角度对水平及垂直旋转轴进行微调。
主权项	一种硬光路光束柔性传输定位方法，采用空间光束柔性传输技术，对大幅面复杂图案进行激光制造，主要包括：规划光束空间扫描路径，进行光束空间扫描，根据扫描结果，由传输定位运动平台控制构件在空间中运动，对光斑位置进行准确定位；将激光扫描速度和激光脉冲关联，扫描速度越快，激光脉冲个数越多，通过控制扫描速度和激光脉冲个数对大幅面复杂图案精细制造；通过空间四自由度旋转臂对光束进行控制，由水平及垂直旋转轴的运动完成控制过程，在控制过程中保持水平与垂直旋转轴的同步，通过CMOS相机监控光束角度偏差，角度偏差经过反射镜，由光束位置检测器检测光束偏转角度；根据偏转角度对水平及垂直旋转轴进行微调。
学科领域	G02b26/08
学科门类	G02
授权日期	2018-12-21
DOI	G02B26
申请日期	2018-02-09
专利号	CN201810131547.3
语种	中文
专利状态	申请中
申请号	CN201810131547.3
PCT属性	否
公开（公告）号	CN108169895A
IPC 分类号	G02B26/08
专利代理人	-
代理机构	-
引用统计
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31067
专题	热控技术研究室_其它单位_其它部门
作者单位	中国科学院西安光学精密机械研究所
第一作者单位	中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	李明. 一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置. CN201810131547.3[P]. 2018-12-21.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
2018101315473.pdf（619KB）	专利		限制开放	CC BY-NC-SA	请求全文