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一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置
Alternative Title一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置
李明
2018-12-21
Rights Holder中国科学院西安光学精密机械研究所
Date Available2018-06-15
Country中国
Subtype发明专利
Contribution Rank1
Abstract本发明提出了一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置,采用空间光束柔性传输技术,对大幅面复杂图案进行激光制造,主要包括:规划光束空间扫描路径,进行光束空间扫描,根据扫描结果,由传输定位运动平台控制构件在空间中运动,对光斑位置进行准确定位;将激光扫描速度和激光脉冲关联,扫描速度越快,激光脉冲个数越多,通过控制扫描速度和激光脉冲个数对大幅面复杂图案精细制造;通过空间四自由度旋转臂对光束进行控制,由水平及垂直旋转轴的运动完成控制过程,在控制过程中保持水平与垂直旋转轴的同步,通过CMOS相机监控光束角度偏差,角度偏差经过反射镜,由光束位置检测器检测光束偏转角度;根据偏转角度对水平及垂直旋转轴进行微调。
Claim一种硬光路光束柔性传输定位方法,采用空间光束柔性传输技术,对大幅面复杂图案进行激光制造,主要包括: 规划光束空间扫描路径,进行光束空间扫描,根据扫描结果,由传输定位运动平台控制构件在空间中运动,对光斑位置进行准确定位; 将激光扫描速度和激光脉冲关联,扫描速度越快,激光脉冲个数越多,通过控制扫描速度和激光脉冲个数对大幅面复杂图案精细制造; 通过空间四自由度旋转臂对光束进行控制,由水平及垂直旋转轴的运动完成控制过程,在控制过程中保持水平与垂直旋转轴的同步,通过CMOS相机监控光束角度偏差,角度偏差经过反射镜,由光束位置检测器检测光束偏转角度; 根据偏转角度对水平及垂直旋转轴进行微调。
Subject AreaG02b26/08
MOST Discipline CatalogueG02
Copyright Date2018-12-21
DOIG02B26
Application Date2018-02-09
Patent NumberCN201810131547.3
Language中文
Status申请中
Application NumberCN201810131547.3
PCT Attributes
Open (Notice) NumberCN108169895A
IPC Classification NumberG02B26/08
Patent Agent-
Agency-
Citation statistics
Document Type专利
Identifierhttp://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31067
Collection其它单位_其它部门
Affiliation中国科学院西安光学精密机械研究所
First Author Affilication中国科学院西安光学精密机械研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
李明. 一种硬光路光束柔性传输定位方法及装置. CN201810131547.3[P]. 2018-12-21.
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2018101315473.pdf(619KB)专利 暂不开放CC BY-NC-SAApplication Full Text
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