一种光束MEMS快速调控系统

doi:G02B26

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	一种光束MEMS快速调控系统
其他题名	一种光束MEMS快速调控系统
	李明; 姜澜; 李珣
	2018-12-21
专利权人	中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期	2018-06-15
授权国家	中国
专利类型	发明专利
产权排序	1
摘要	本发明涉及一种调控系统，该调控系统用于调控飞秒激光脉冲光束幅位，包括飞秒激光脉冲光源，MEMS快速调节镜系统，光斑位置传感器，信号处理系统；其特征在于，该MEMS快速调节镜系统位于所述调控系统构成该调控系统的核心空间的第二空间，所述MEMS快速调节镜系统具有由可实现各态历经过程的单MEMS微透镜形成的相干微透镜矩阵，单MEMS微透镜有波数不敏感属性；所述信号处理系统控制MEMS快速调节镜系统调控光束幅位，MEMS快速调节镜系统通过信息处理系统并行脉冲信号调节相干微透镜矩阵，所述相干微透镜矩阵中各个上述单MEMS微透镜与轴向夹角由并行脉冲信号幅度控制。
主权项	一种调控系统，该调控系统用于调控飞秒激光脉冲光束幅位，包括飞秒激光脉冲光源，MEMS快速调节镜系统，光斑位置传感器，信号处理系统；其特征在于，该MEMS快速调节镜系统位于所述调控系统构成该调控系统的核心空间的第二空间，所述MEMS快速调节镜系统具有由可实现各态历经过程的单MEMS微透镜形成的相干微透镜矩阵，单MEMS微透镜有波数不敏感属性；所述信号处理系统控制MEMS快速调节镜系统调控光束幅位，MEMS快速调节镜系统通过信息处理系统并行脉冲信号调节相干微透镜矩阵，所述相干微透镜矩阵中各个上述单MEMS微透镜与轴向夹角由并行脉冲信号幅度控制。
学科领域	G02b26/08
学科门类	G02
授权日期	2018-12-21
DOI	G02B26
申请日期	2018-02-08
专利号	CN201810128468.7
语种	中文
专利状态	申请中
申请号	CN201810128468.7
PCT属性	否
公开（公告）号	CN108169894A
IPC 分类号	G02B26/08
专利代理人	-
代理机构	-
引用统计
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31066
专题	热控技术研究室_其它单位_其它部门
作者单位	中国科学院西安光学精密机械研究所
第一作者单位	中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	李明,姜澜,李珣. 一种光束MEMS快速调控系统. CN201810128468.7[P]. 2018-12-21.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
2018101284687.pdf（499KB）	专利		限制开放	CC BY-NC-SA	请求全文