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一种光束MEMS快速调控系统
其他题名一种光束MEMS快速调控系统
李明; 姜澜; 李珣
2018-12-21
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2018-06-15
授权国家中国
专利类型发明专利
产权排序1
摘要本发明涉及一种调控系统,该调控系统用于调控飞秒激光脉冲光束幅位,包括飞秒激光脉冲光源,MEMS快速调节镜系统,光斑位置传感器,信号处理系统;其特征在于,该MEMS快速调节镜系统位于所述调控系统构成该调控系统的核心空间的第二空间,所述MEMS快速调节镜系统具有由可实现各态历经过程的单MEMS微透镜形成的相干微透镜矩阵,单MEMS微透镜有波数不敏感属性;所述信号处理系统控制MEMS快速调节镜系统调控光束幅位,MEMS快速调节镜系统通过信息处理系统并行脉冲信号调节相干微透镜矩阵,所述相干微透镜矩阵中各个上述单MEMS微透镜与轴向夹角由并行脉冲信号幅度控制。
主权项一种调控系统,该调控系统用于调控飞秒激光脉冲光束幅位,包括飞秒激光脉冲光源,MEMS快速调节镜系统,光斑位置传感器,信号处理系统;其特征在于,该MEMS快速调节镜系统位于所述调控系统构成该调控系统的核心空间的第二空间,所述MEMS快速调节镜系统具有由可实现各态历经过程的单MEMS微透镜形成的相干微透镜矩阵,单MEMS微透镜有波数不敏感属性;所述信号处理系统控制MEMS快速调节镜系统调控光束幅位,MEMS快速调节镜系统通过信息处理系统并行脉冲信号调节相干微透镜矩阵,所述相干微透镜矩阵中各个上述单MEMS微透镜与轴向夹角由并行脉冲信号幅度控制。
学科领域G02b26/08
学科门类G02
授权日期2018-12-21
DOIG02B26
申请日期2018-02-08
专利号CN201810128468.7
语种中文
专利状态申请中
申请号CN201810128468.7
PCT属性
公开(公告)号CN108169894A
IPC 分类号G02B26/08
专利代理人-
代理机构-
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文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31066
专题其它单位_其它部门
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
第一作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李明,姜澜,李珣. 一种光束MEMS快速调控系统. CN201810128468.7[P]. 2018-12-21.
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2018101284687.pdf(499KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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