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一种光束MEMS快速调控系统
Alternative Title一种光束MEMS快速调控系统
李明; 姜澜; 李珣
2018-12-21
Rights Holder中国科学院西安光学精密机械研究所
Date Available2018-06-15
Country中国
Subtype发明专利
Contribution Rank1
Abstract本发明涉及一种调控系统,该调控系统用于调控飞秒激光脉冲光束幅位,包括飞秒激光脉冲光源,MEMS快速调节镜系统,光斑位置传感器,信号处理系统;其特征在于,该MEMS快速调节镜系统位于所述调控系统构成该调控系统的核心空间的第二空间,所述MEMS快速调节镜系统具有由可实现各态历经过程的单MEMS微透镜形成的相干微透镜矩阵,单MEMS微透镜有波数不敏感属性;所述信号处理系统控制MEMS快速调节镜系统调控光束幅位,MEMS快速调节镜系统通过信息处理系统并行脉冲信号调节相干微透镜矩阵,所述相干微透镜矩阵中各个上述单MEMS微透镜与轴向夹角由并行脉冲信号幅度控制。
Claim一种调控系统,该调控系统用于调控飞秒激光脉冲光束幅位,包括飞秒激光脉冲光源,MEMS快速调节镜系统,光斑位置传感器,信号处理系统;其特征在于,该MEMS快速调节镜系统位于所述调控系统构成该调控系统的核心空间的第二空间,所述MEMS快速调节镜系统具有由可实现各态历经过程的单MEMS微透镜形成的相干微透镜矩阵,单MEMS微透镜有波数不敏感属性;所述信号处理系统控制MEMS快速调节镜系统调控光束幅位,MEMS快速调节镜系统通过信息处理系统并行脉冲信号调节相干微透镜矩阵,所述相干微透镜矩阵中各个上述单MEMS微透镜与轴向夹角由并行脉冲信号幅度控制。
Subject AreaG02b26/08
MOST Discipline CatalogueG02
Copyright Date2018-12-21
DOIG02B26
Application Date2018-02-08
Patent NumberCN201810128468.7
Language中文
Status申请中
Application NumberCN201810128468.7
PCT Attributes
Open (Notice) NumberCN108169894A
IPC Classification NumberG02B26/08
Patent Agent-
Agency-
Citation statistics
Document Type专利
Identifierhttp://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31066
Collection其它单位_其它部门
Affiliation中国科学院西安光学精密机械研究所
First Author Affilication中国科学院西安光学精密机械研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
李明,姜澜,李珣. 一种光束MEMS快速调控系统. CN201810128468.7[P]. 2018-12-21.
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