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一种飞秒激光薄膜微群孔高效制造方法
其他题名一种飞秒激光薄膜微群孔高效制造方法
李明
2018-12-21
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2018-07-27
授权国家中国
专利类型发明专利
产权排序1
摘要本发明提出了一种飞秒激光薄膜微群孔运动旋切式制造方法,在对薄膜,尤其是热控薄膜加热时,提供一对射式激光定位传感器,在热控薄膜上冲击出一排基准孔,以上述基准孔为引导孔,通过上述传感器输出的信号传递给控制单元控制薄膜打孔位置,聚焦镜和反射镜在直线电机驱动下沿所述热控薄膜宽幅方向往复平移运动,当定位于热控薄膜边缘第一孔位后,飞秒激光开启,激光束经由振镜形成扫描光束,所述扫描光束经过所述反射镜到达所述聚焦镜,经聚焦镜聚焦后照射至所述热控薄膜,由上述振镜旋转作用形成所述激光束旋切冲孔,超快激光单光子照射至所述热控薄膜表面后,直接将碳碳键和碳氮键通过光化学作用分解。
主权项一种飞秒激光薄膜微群孔运动旋切式制造方法,用于加工环地球卫星轨道有效载荷装置的热控薄膜,其包括以下步骤: 提供一对射式激光定位传感器,所述传感器具有发射端与接收端,所述发射端与接收端位于所述热控薄膜原子层异位空间且相对冲孔位置沿薄膜传递方向的下游; 在热控薄膜上冲击出一排基准孔; 以上述基准孔为引导孔,通过上述传感器输出的信号传递给控制单元控制薄膜打孔位置; 聚焦镜和反射镜在直线电机驱动下沿所述热控薄膜宽幅方向往复平移运动,当定位于热控薄膜边缘第一孔位后,飞秒激光开启,激光束经由振镜形成扫描光束; 所述扫描光束经过所述反射镜到达所述聚焦镜,经聚焦镜聚焦后照射至所述热控薄膜,由上述振镜旋转作用形成所述激光束旋切冲孔; 超快激光单光子照射至所述热控薄膜表面后,直接将碳碳键和碳氮键通过光化学作用分解。
学科领域B23k26/382
学科门类B23
授权日期2018-12-21
DOIB23K26
申请日期2018-02-08
专利号CN201810130219.1
语种中文
专利状态申请中
申请号CN201810130219.1
PCT属性
公开(公告)号CN108326451A
IPC 分类号B23K26/382 ; B23K26/70 ; B23K26/06 ; B23K26/067
专利代理人-
代理机构-
引用统计
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31050
专题其它单位_其它部门
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
第一作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李明. 一种飞秒激光薄膜微群孔高效制造方法. CN201810130219.1[P]. 2018-12-21.
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2018101302191.pdf(685KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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