OPT OpenIR  > 其它单位  > 其它部门
一种飞秒激光薄膜微群孔高效制造方法
Alternative Title一种飞秒激光薄膜微群孔高效制造方法
李明
2018-12-21
Rights Holder中国科学院西安光学精密机械研究所
Date Available2018-07-27
Country中国
Subtype发明专利
Contribution Rank1
Abstract本发明提出了一种飞秒激光薄膜微群孔运动旋切式制造方法,在对薄膜,尤其是热控薄膜加热时,提供一对射式激光定位传感器,在热控薄膜上冲击出一排基准孔,以上述基准孔为引导孔,通过上述传感器输出的信号传递给控制单元控制薄膜打孔位置,聚焦镜和反射镜在直线电机驱动下沿所述热控薄膜宽幅方向往复平移运动,当定位于热控薄膜边缘第一孔位后,飞秒激光开启,激光束经由振镜形成扫描光束,所述扫描光束经过所述反射镜到达所述聚焦镜,经聚焦镜聚焦后照射至所述热控薄膜,由上述振镜旋转作用形成所述激光束旋切冲孔,超快激光单光子照射至所述热控薄膜表面后,直接将碳碳键和碳氮键通过光化学作用分解。
Claim一种飞秒激光薄膜微群孔运动旋切式制造方法,用于加工环地球卫星轨道有效载荷装置的热控薄膜,其包括以下步骤: 提供一对射式激光定位传感器,所述传感器具有发射端与接收端,所述发射端与接收端位于所述热控薄膜原子层异位空间且相对冲孔位置沿薄膜传递方向的下游; 在热控薄膜上冲击出一排基准孔; 以上述基准孔为引导孔,通过上述传感器输出的信号传递给控制单元控制薄膜打孔位置; 聚焦镜和反射镜在直线电机驱动下沿所述热控薄膜宽幅方向往复平移运动,当定位于热控薄膜边缘第一孔位后,飞秒激光开启,激光束经由振镜形成扫描光束; 所述扫描光束经过所述反射镜到达所述聚焦镜,经聚焦镜聚焦后照射至所述热控薄膜,由上述振镜旋转作用形成所述激光束旋切冲孔; 超快激光单光子照射至所述热控薄膜表面后,直接将碳碳键和碳氮键通过光化学作用分解。
Subject AreaB23k26/382
MOST Discipline CatalogueB23
Copyright Date2018-12-21
DOIB23K26
Application Date2018-02-08
Patent NumberCN201810130219.1
Language中文
Status申请中
Application NumberCN201810130219.1
PCT Attributes
Open (Notice) NumberCN108326451A
IPC Classification NumberB23K26/382 ; B23K26/70 ; B23K26/06 ; B23K26/067
Patent Agent-
Agency-
Citation statistics
Document Type专利
Identifierhttp://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31050
Collection其它单位_其它部门
Affiliation中国科学院西安光学精密机械研究所
First Author Affilication中国科学院西安光学精密机械研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
李明. 一种飞秒激光薄膜微群孔高效制造方法. CN201810130219.1[P]. 2018-12-21.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
2018101302191.pdf(685KB)专利 开放获取CC BY-NC-SAApplication Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[李明]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[李明]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[李明]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.