光子制造系统与应用研究中心知识库

本发明涉及激光加工领域，特别涉及一种透明硬脆材料的切割裂片方法。该方法可以减少激光切割裂片过程中容易出现的缺陷和残留问题，大大提高了透明硬脆材料激光加工的良率。该方法的具体步骤是：【S1】将待加工件进行固定；【S2】对待加工件进行第一次切割；【S3】对待加工件进行第二次切割；【S4】对待加工件进行裂片处理。

一种透明硬脆材料的切割裂片方法，其特征在于，其具体步骤是： 【S1】将待加工件进行固定； 【S2】对待加工件进行第一次切割； 【S2.1】设定激光束的运动轨迹和偏振方向，保证激光束的偏振方向始终沿运动轨迹的切线方向；所述偏振方向是激光束的线偏振方向； 【S2.2】启动第一次切割工艺，激光束沿步骤【S2.1】设定好的运动轨迹切割玻璃； 【S3】对待加工件进行第二次切割； 【S3.1】修改激光束的运动轨迹和偏振方向，保证激光束的偏振方向始终沿运动轨迹的法线方向； 【S3.2】启动第二次切割工艺，激光束沿步骤【S3.1】设定好的运动轨迹切割玻璃，释放一次切割后的残余应力，所述残余应力为进行完步骤【S2.1】后残留在玻璃切割道内的应力； 【S4】对待加工件进行裂片处理； 设定裂片参数，启动裂片工艺，采用弹性裂片部与待加工件接触、挤压，从而实现裂片，消除裂片残留； 所述裂片残留为切割道的两端端部没有被裂开的残留玻璃。