一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片

OPT OpenIR > 热控技术研究室 > 其它单位 > 其它部门

	一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片
其他题名	一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片
	张文富; 章羚璇; 孙笑晨; 王国玺
	2018-12-21
专利权人	中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期	2018-12-21
授权国家	中国
专利类型	实用新型
产权排序	1
摘要	本实用新型涉及一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片，解决现有光学相控阵芯片的天线单元之间距离远大于波长，产生明显的旁瓣，严重影响器件光学性能的问题。该光学相控阵芯片包括基底和导光层；导光层包括依次设置的上端覆盖层、芯层和下端覆盖层；下端覆盖层设置在基底的上端，芯层的折射率高于上端覆盖层、下端覆盖层和基底的折射率；芯层包括多个天线单元，多个天线单元首尾相连，形成多个竖向阵列，多个竖向阵列横向连接为二维阵列；天线单元包括光栅天线、相位调制器和第一连接波导；相位调制器主要由直波导和两个弯曲波导组成，两个弯曲波导通过直波导连接；光栅天线与相位调制器的弯曲波导通过第一连接波导连接。
主权项	一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片，其特征在于：包括基底(126)和导光层；所述导光层包括依次设置的上端覆盖层(123)、芯层(121)和下端覆盖层(124)；所述下端覆盖层(124)设置在基底(126)的上端，所述芯层(121)的折射率高于上端覆盖层(123)、下端覆盖层(124)和基底(126)的折射率；所述芯层(121)包括多个天线单元，多个天线单元首尾相连，形成多个竖向阵列，多个竖向阵列横向串联为二维阵列；所述天线单元包括光栅天线(120)、相位调制器(130)和第一连接波导(150)；所述相位调制器(130)主要由直波导(170)和两个弯曲波导(160)组成，两个弯曲波导(160)通过直波导(170)连接；所述光栅天线(120)与相位调制器的弯曲波导(160)通过第一连接波导(150)连接；一个天线单元的弯曲波导(160)与相邻天线单元的光栅天线(120)通过第一连接波导(150)首尾连接，形成竖向阵列，多个竖向阵列通过第二连接波导(140)横向串联形成二维阵列；所述光栅天线(120)包括基体波导和多个刻蚀狭缝，所述刻蚀狭缝垂直于光传播方向，多个刻蚀狭缝相互平行且周期排布，所述光栅天线(120)为浅刻蚀光栅天线或深刻蚀光栅天线，所述浅刻蚀光栅天线的刻蚀狭缝设置在基体波导的上表面、下表面或上下表面；所述深刻蚀光栅天线的刻蚀狭缝设置在基体波导的侧面。
授权日期	2018-12-21
申请日期	2018-04-18
专利号	CN201820554790.1
语种	中文
专利状态	已授权
申请号	CN201820554790.1
PCT属性	否
公开（公告）号	CN208270902U
IPC 分类号	G02F1/295 ; H01S5/40 ; G02F1/21 ; G02F1/01 ; G02B6/293 ; G02B6/26 ; G02B6/12 ; G01S7/48
专利代理人	杨引雪
代理机构	西安智邦专利商标代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/30877
专题	热控技术研究室_其它单位_其它部门
作者单位	中国科学院西安光学精密机械研究所
第一作者单位	中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	张文富,章羚璇,孙笑晨,等. 一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片. CN201820554790.1[P]. 2018-12-21.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
2018205547901.pdf（653KB）	专利		限制开放	CC BY-NC-SA	请求全文