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一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片
其他题名一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片
张文富; 章羚璇; 孙笑晨; 王国玺
2018-12-21
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2018-12-21
授权国家中国
专利类型实用新型
产权排序1
摘要本实用新型涉及一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片,解决现有光学相控阵芯片的天线单元之间距离远大于波长,产生明显的旁瓣,严重影响器件光学性能的问题。该光学相控阵芯片包括基底和导光层;导光层包括依次设置的上端覆盖层、芯层和下端覆盖层;下端覆盖层设置在基底的上端,芯层的折射率高于上端覆盖层、下端覆盖层和基底的折射率;芯层包括多个天线单元,多个天线单元首尾相连,形成多个竖向阵列,多个竖向阵列横向连接为二维阵列;天线单元包括光栅天线、相位调制器和第一连接波导;相位调制器主要由直波导和两个弯曲波导组成,两个弯曲波导通过直波导连接;光栅天线与相位调制器的弯曲波导通过第一连接波导连接。
主权项一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片,其特征在于:包括基底(126)和导光层; 所述导光层包括依次设置的上端覆盖层(123)、芯层(121)和下端覆盖层(124);所述下端覆盖层(124)设置在基底(126)的上端,所述芯层(121)的折射率高于上端覆盖层(123)、下端覆盖层(124)和基底(126)的折射率; 所述芯层(121)包括多个天线单元,多个天线单元首尾相连,形成多个竖向阵列,多个竖向阵列横向串联为二维阵列; 所述天线单元包括光栅天线(120)、相位调制器(130)和第一连接波导(150);所述相位调制器(130)主要由直波导(170)和两个弯曲波导(160)组成,两个弯曲波导(160)通过直波导(170)连接;所述光栅天线(120)与相位调制器的弯曲波导(160)通过第一连接波导(150)连接;一个天线单元的弯曲波导(160)与相邻天线单元的光栅天线(120)通过第一连接波导(150)首尾连接,形成竖向阵列,多个竖向阵列通过第二连接波导(140)横向串联形成二维阵列; 所述光栅天线(120)包括基体波导和多个刻蚀狭缝,所述刻蚀狭缝垂直于光传播方向,多个刻蚀狭缝相互平行且周期排布,所述光栅天线(120)为浅刻蚀光栅天线或深刻蚀光栅天线,所述浅刻蚀光栅天线的刻蚀狭缝设置在基体波导的上表面、下表面或上下表面;所述深刻蚀光栅天线的刻蚀狭缝设置在基体波导的侧面。
授权日期2018-12-21
申请日期2018-04-18
专利号CN201820554790.1
语种中文
专利状态已授权
申请号CN201820554790.1
PCT属性
公开(公告)号CN208270902U
IPC 分类号G02F1/295 ; H01S5/40 ; G02F1/21 ; G02F1/01 ; G02B6/293 ; G02B6/26 ; G02B6/12 ; G01S7/48
专利代理人杨引雪
代理机构西安智邦专利商标代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/30877
专题其它单位_其它部门
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
第一作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张文富,章羚璇,孙笑晨,等. 一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片. CN201820554790.1[P]. 2018-12-21.
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