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Dwell time method based on Richardson-Lucy algorithm
Jiang, Bo1,2; Ma, Zhen1
2017
会议名称Applied Optics and Photonics China: Space Optics and Earth Imaging and Space Navigation, AOPC 2017
会议录名称AOPC 2017: Space Optics and Earth Imaging and Space Navigation
卷号10463
会议日期2017-06-04
会议地点Beijing, China
出版者SPIE
产权排序1
摘要

When the noise in the surface error data given by the interferometer has no effect on the iterative convergence of the RL algorithm, the RL algorithm for deconvolution in image restoration can be applied to the CCOS model to solve the dwell time. By extending the initial error function on the edge and denoising the noise in the surface error data given by the interferometer, it makes the result more available. The simulation results show the final residual error 10.7912nm nm in PV and 0.4305 nm in RMS, when the initial surface error is 107.2414 nm in PV and 15.1331 nm in RMS. The convergence rates of the PV and RMS values can reach up to 89.9% and 96.0%, respectively. The algorithms can satisfy the requirement of fabrication very well. © 2017 SPIE.

作者部门空间光学应用研究室
DOI10.1117/12.2285646
收录类别EI ; ISTP
ISBN号9781510614079
语种英语
ISSN号0277786X
引用统计
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/29865
专题空间光学应用研究室
作者单位1.Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics, CAS, Xi'an; 710119, China
2.University of Chinese, Academy of Sciences, Beijing; 100049, China
推荐引用方式
GB/T 7714
Jiang, Bo,Ma, Zhen. Dwell time method based on Richardson-Lucy algorithm[C]:SPIE,2017.
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