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一种光学系统立式装检装置及装检方法
康晓鹏; 付兴; 李华; 王鹏; 刘军鹏
2016-05-16
公开日期2016-08-31
授权国家中国
专利类型发明
摘要本发明公开了一种光学系统立式装检装置及装检方法,属于精密光学应用技术领域,该装检装置包括调整转台及在调整转台上自下至上依次设置的3个调整支架;调整转台用于放置被装检零件,3个调整支架安装在一固定安装架上,自下至上分别为补偿镜调整支架、干涉仪调整支架和自准平面镜调整支架;3个调整支架均包括竖向导轨和横向导轨,所述竖向导轨与固定安装架固连,横向导轨能够沿竖向导轨上下滑动;本发明能够避免由于重力原因引起的面形问题,装检光路可自由组合调节,可满足不同光学系统的检测需求。
主权项0001.1.一种光学系统立式装检装置,其特征在于:包括调整转台及在调整转台上自下至上依次设置的3个调整支架;调整转台用于放置被装检零件,3个调整支架安装在一固定安装架上,自下至上分别为补偿镜调整支架、干涉仪调整支架和自准平面镜调整支架; 3个调整支架均包括竖向导轨和横向导轨,所述竖向导轨与固定安装架固连,横向导轨能够沿竖向导轨上下滑动; 所述补偿镜调整支架还包括补偿镜;所述补偿镜设置在横向导轨上,能够沿横向导轨左右滑动; 所述干涉仪调整支架还包括激光干涉仪;所述激光干涉仪设置在横向导轨上,能够沿横向导轨左右滑动; 所述自准平面镜调整支架还包括自准平面镜;所述自准平面镜设置在横向导轨上,能够沿横向导轨左右滑动。
授权日期2016-09-28
专利号CN201610322142.9
语种中文
专利状态审查中-实审
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/29808
专题系统工程部
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
康晓鹏,付兴,李华,等. 一种光学系统立式装检装置及装检方法. CN201610322142.9[P]. 2016-05-16.
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