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激光远场焦斑高精度动态诊断装置及诊断方法
段亚轩; 李晶; 陈永权; 赵建科; 刘尚阔; 田留德; 李坤; 王涛; 薛勋; 赵怀学; 潘亮
2016-04-11
公开日期2016-07-27
授权国家中国
专利类型发明
摘要本发明提供了一种的激光远场焦斑高精度动态诊断装置及方法,旨在解决现有技术分辨率低、误差大的弊端。本发明包括依次设置在同一光路上的单模光纤激光器、准直镜、可变光阑、分束镜、取样镜、缩束/扩束系统、反射镜、多通道二元光学元件、CCD探测器;还包括设置在分束镜反射光路上的参考积分球功率计,设置在反射镜反射光路上的测量积分球功率计,以及同时与参考积分球功率计、测量积分球功率计以及CCD探测器相联的控制计算机。本发明可实现对不同口径大小的激光光束的远场焦斑诊断,具有精度高、测量结果置信度高、稳定性好的优点。
主权项0001.1.激光远场焦斑高精度动态诊断装置,包括单模光纤激光器、准直镜、 可变光阑、分束镜、缩束/扩束系统、反射镜、CCD探测器和控制计算机;其特征在于:还包括取样镜、参考积分球功率计、测量积分球功率计、多通道二元光学元件; 所述准直镜、可变光阑、分束镜、取样镜、缩束/扩束系统、反射镜、多通道二元光学元件以及CCD探测器依次设置在单模光纤激光器的输出光路上;所述参考积分球功率计设置在所述分束镜的反射光路上;所述测量积分球功率计设置在所述反射镜的反射光路上;所述控制计算机同时与参考积分球功率计、测量积分球功率计以及CCD探测器相联; 所述单模光纤激光器的光纤端面置于准直镜的焦点处,光纤芯径小于 2.44λf/d,其中λ为单模光纤激光器输出激光的波长,f为所述准直镜的焦距,d为所述准直镜的出瞳尺寸; 所述多通道二元光学元件位于所述缩束/扩束系统的出瞳位置,用于将缩束/扩束系统入瞳处的激光光束近场分割成一系列子孔径区域。
授权日期2016-08-24
专利号CN201610221179.2
语种中文
专利状态审查中-实审
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/29806
专题先进光学仪器研究室
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
段亚轩,李晶,陈永权,等. 激光远场焦斑高精度动态诊断装置及诊断方法. CN201610221179.2[P]. 2016-04-11.
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