Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 一种光电探测器件转移制作系统及制作方法 | |
卢裕 ; 刘虎林; 田进寿; 赛小锋; 韦永林; 徐向晏; 王俊锋
| |
| 2013-12-30 | |
| 专利权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 公开日期 | 2014-04-09 |
| 专利类型 | 发明 |
| 产权排序 | 1 |
| 摘要 | 本发明提供一种光电探测器件转移制作系统及制作方法，包括阴极腔、阳极腔、工作传递腔、转移传递系统、烘箱及抽真空系统，阴极腔、阳极腔、工作传递腔之间通过阀门隔开，阴极腔和阳极腔分别位于工作传递腔两侧，转移传递系统包括水平传递系统和升降系统，水平传递系统包括阳极组件放置装置、阴极组件放置装置及水平传递装置，利用该制作系统进行光电探测器件制作时，除阳极组件组装过程外，其余工艺过程均在超高真空的清洁环境内完成，防止制作过程对倍增管核心器件造成污染；MCP阳极组件处理与光电阴极制作工艺相互独立，避免非阴极部分受阴极碱金属污染，保证MCP处于最佳性能工作状态。 |
| 申请日期 | 2013-12-30 |
| 专利号 | CN103715034 |
| 申请号 | CN201310745792 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/21616 |
| 专题 | 条纹相机工程中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢裕,刘虎林,田进寿,等. 一种光电探测器件转移制作系统及制作方法. CN103715034[P]. 2013-12-30. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 一种光电探测器件转移制作系统及制作方法.（1134KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | |||
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