Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 投影光刻机光学系统 | |
| 杨允敬; 厉良佐; 黄玉金等 | |
| 1971 | |
| 获奖类别 | 省部科学技术进步奖 |
| 获奖等级 | 院级三等奖 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 成果 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/19355 |
| 专题 | 中国科学院西安光学精密机械研究所(2010年前) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨允敬,厉良佐,黄玉金等. 投影光刻机光学系统. 省部科学技术进步奖. 1971. |
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