Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 实用微机控制XG60-1型MOCVD装置 | |
| 侯洵; 高鸿楷; 张济康; 叶亚仙; 李秀如; 云峰; 刘英; 张增颜 | |
| 1990 | |
| 获奖类别 | 省部科学技术进步奖 |
| 获奖等级 | 院级三等奖 |
| 英文摘要 | ＭＯＣＶＤ装置是当今国际上半导体材料研究和生产的先进设备，可用来制备各类超高速器件、光电器件、集成电路和激光器等所需的材料。该装置包括气体源、管路系统、反应器、尾气处理系统及微机自动控制系统，是半导体材料生长的专用设备，在计算机自动控制下已生长出ＧａＡｓ，ＡｌＧａＡｓ单层外延片和ＡｌＧａＡｓ－ＧａＡｓ－ＡｌＧａＡｓ三层外延片。其整个系统密封性好，本底杂质浓度低，主要性能指标处于国内领先地位，达到了８０年代国际同类装置的水平。 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 成果 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/18855 |
| 专题 | 中国科学院西安光学精密机械研究所(2010年前) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 侯洵,高鸿楷,张济康,等. 实用微机控制XG60-1型MOCVD装置. 省部科学技术进步奖. 1990. |
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