Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
透射式NEA光阴极中Ga_(1-x)Al_xAs缓冲层的液相外延 | |
柯毛龙 | |
学位类型 | 硕士 |
导师 | 侯洵,张济康 |
1987 | |
学位授予单位 | 中国科学院西安光学精密机械研究所. |
学位专业 | 电子物理和离子束物理 |
摘要 | 本文是负电子亲和势光阴极研制中的一部分,它首先论述了Ga_(1-x)Al_xAs缓冲层的液相外延生长的原理和工艺。随后报道了我们生长的Ga_(1-x)Al_xAs处延片的俄歇能谱,组分x值,表面形貌及掺Zn结果,并且比较全面地解释了各处表面形貌的特点及形成机理。本文强调了两上较重要的结果:一是有实用价值的大组分x值Ga_(1-x)Al_xAs处延片已被生长出来;二是外延片的表面形貌与衬底表面在(100)方向的偏离角度θ之间的定量关系被实验确定下来,且与以往的结果不同,以往有人把7°或4'作为偏离的临介值,而我们的结论是:当θ ≥ 5°时,表面形貌极差,外延难以进行,而当θ ≤ 3°时,可以生长出表面平整光亮的处延片。 |
学科领域 | 电子物理和离子束物理 |
页数 | 70 |
语种 | 中文 |
文献类型 | 学位论文 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/12550 |
专题 | 中国科学院西安光学精密机械研究所(2010年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 柯毛龙. 透射式NEA光阴极中Ga_(1-x)Al_xAs缓冲层的液相外延[D]. 中国科学院西安光学精密机械研究所.,1987. |
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