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基于光学定位技术的原子力显微镜精确重复定位实现装置 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN108828269A, 申请日期: 2018-11-16, 公开日期: 2018-11-16
发明人:  石云波;  马宗敏;  刘俊;  郑光金;  魏久焱;  武兴盛
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