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用于氮化物外延生长的图形蓝宝石衬底的制作方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN101330002A, 申请日期: 2008-12-24, 公开日期: 2008-12-24
发明人:  闫发旺;  高海永;  张扬;  李晋闽;  曾一平;  王国宏;  张会肖
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