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用于阵列式集成电路光刻扫描装置的线阵光源 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN1170209C, 申请日期: 2004-10-06, 公开日期: 2004-10-06
发明人:  徐端颐;  齐国生;  蒋培军;  范晓东;  钱坤
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